技術(shù)參數(shù)：
大范圍高精度掃描探針顯微鏡     安捷倫5500LS

Specifications 
Stage 
- Standard vacuum chuck size: 150 mm 
- Sample thickness: up to 35 mm 
- Examination area: 150 mm x 150 mm 
- Fully motorized, controlled optics 
- Optical resolution: 2 μm 

Compatibility 
- Compatible with Agilent 5 series  family 
of products and all AC modes 
- Compatible with multi-purpose scanners 
- Compatible with CSAFM, STM, and EFM/MFM 
- Compatible with imaging in air and fluids, including but not limited to life sciences, 
electrochemistry, and corrosion applications 
- Compatible with temperature control (-30oC to 250oC) 

S c a n n e rs 
Large Scanner 
- Scanning range: 100 μm x 100 μm 
- Z range: 7 μm 
- Vertical noise: 0.5? RMS 
Small Scanner 
- Scanning range: 10 μm x 10 μm 
- Z range: 2 μm 
- Vertical noise:<0.1? RMS 

主要特點(diǎn)：
安捷倫大樣品臺(tái)原子力顯微鏡可以快速、準(zhǔn)確地實(shí)現(xiàn)針尖定位和樣品定位。高精度的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)能幫助您自動(dòng)準(zhǔn)確定位到您感興趣的區(qū)域，同時(shí)帶有記憶功能，可以自動(dòng)迅速而準(zhǔn)確地回到原來每個(gè)樣品表面成像的位置，便于進(jìn)行更多的深入研究。同時(shí)5500LS能很好地滿足大樣品在空氣、液體和溫度控制下成像。

優(yōu)勢(shì)
* 自動(dòng)的光學(xué)縮放與聚焦，使用簡單方便
* 大范圍內(nèi)準(zhǔn)確定位，分辨率優(yōu)于2µm
* 150mm真空吸盤（標(biāo)準(zhǔn)），可安放6英寸晶片
* 可提供8英寸大夾具的選件，以適應(yīng)更大的樣品尺寸

應(yīng)用
* 半導(dǎo)體：Si晶片、器件
* 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)材料：CDs、DVDs、硬盤等等