熱式氣體質(zhì)量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應(yīng)被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。根據(jù)熱效應(yīng)的金氏定律,加熱功率P、溫度差△T(TRH-TRMG)與質(zhì)量流量Q有確定的數(shù)學(xué)關(guān)系式。P/△T=K1+K2f(Q)K3K1、K2、K3是與氣體物理性質(zhì)有關(guān)的常數(shù)。熱式氣體質(zhì)量流量計*的溫度差測量方式克服了采用恒溫差原理的熱式氣體質(zhì)量流量計測量煤氣流量時因煤氣中含水、油和雜質(zhì)而造成的很大的零點漂移，導(dǎo)致無法測量的弊端。它也可以用于測量濕氣體的質(zhì)量流量，如礦井下瓦斯抽放、送風，排風系統(tǒng)中的風量(速)的實時檢測。

熱式氣體質(zhì)量流量計具有如下技術(shù)優(yōu)勢：1.真正的質(zhì)量流量計，對氣體流量測量無需溫度和壓力補償，測量方便、準確?？傻玫綒怏w的質(zhì)量流量或者標準體積流量。2.寬量程比，可測量流速高至100Nm/s底至0.5Nm/s的氣體，可以用于氣體檢漏。3.抗震性能好使用壽命長。傳感器無活動部件和壓力傳感部件，不受震動對測量精度的影響。4.安裝維修簡便。在現(xiàn)場條件允許的情況下，可以實現(xiàn)不停產(chǎn)安裝和維護。（請參見安全注意事項）5.數(shù)字化設(shè)計。整體數(shù)字化電路測量，測量準確、維修方便。6.采用RS-485通訊，或HART通訊，可以實現(xiàn)工廠自動化、集成化。熱式氣體質(zhì)量流量計應(yīng)用在熔劑回收系統(tǒng)氣體流量測量。