技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類(lèi)    內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考?xì)怏w兼容表

                   一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量       程     從0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM

量程可控比（穩(wěn)態(tài)）    0.5% ~ 100%滿量程

最大顯示流量    高達(dá)128%滿量程（取決于氣體）

最大可控流量    102.4%滿量程

顯  示  屏    帶背光按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

精       度    ± 2%滿量程    精度升級(jí)見(jiàn)左下角

重  復(fù) 性    ± 0.2%滿量程

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移    ± 0.01%滿量程/ ℃（從25℃開(kāi)始） 

                                 ± 0.01%滿量程/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始）

質(zhì)量流量量程漂移    ± 0.01%讀 數(shù)/ ℃（從25℃開(kāi)始） 

                                 ± 0.1 %讀 數(shù)/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始）

控制響應(yīng)時(shí)間（T63）    優(yōu)于100 ms（與流量相關(guān)，用戶可調(diào)）

顯示響應(yīng)時(shí)間    ＜10 ms（與流量相關(guān)）             

預(yù)熱時(shí)間    ＜1s

默認(rèn)標(biāo)況（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ~ 95%

最大工作壓力    320 PSI 絕壓

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號(hào)40Hz@19200波特率；模擬信號(hào)：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)    RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、                                 

                   EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT

模擬輸入/輸出信號(hào)    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

模擬信號(hào)精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

供電電壓     12 - 24 VDC 

供電電流    0.250 -1A（+40 mA，對(duì)于4-20 mA輸出）

電氣接口    DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN、8-pin M12等

泄漏率（外漏）    選擇HLCP選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He 

材       質(zhì)    302，303，304,316L，430,410不銹鋼、FKM氟橡膠、陶瓷、

                   硅橡膠、聚酰胺、環(huán)氧樹(shù)脂、金、銅、硅、玻璃。

過(guò)程連接    詳情參考?jí)簱p表

安裝位置    小閥門(mén)無(wú)要求，R閥門(mén)需閥體垂直向上安裝

防護(hù)等級(jí)    IP40

認(rèn)    證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）