Sentech光譜橢偏儀測厚儀SENresearch 4.0

Sentech光譜橢偏儀測厚儀SENresearch 4.0可以配置用于全穆勒矩陣、各向異性、廣義橢偏、散射測量等。使用步進掃描分析器原理實現(xiàn)測量結(jié)果。寬光譜范圍從190nm（深紫外）到3,500 nm（近紅外）。傅立葉紅外光譜儀FTIR提供了高光譜分辨率用以分析厚度高達200μm的厚膜。

寬光譜范圍和高光譜精度

Sentech光譜橢偏儀測厚儀SENresearch 4.0 光譜橢偏儀覆蓋寬的光譜范圍，從190 nm(深紫外)到3500 nm(近紅外)。傅立葉紅外光譜儀FTIR提供了高光譜分辨率用以分析厚度高達200μm的厚膜。

*的步進掃描分析器，使結(jié)果更

為了獲得測量結(jié)果，在數(shù)據(jù)采集過程中沒有光學器件運動。步進掃描分析器(SSA)原理是SENresearch 4.0光譜橢偏儀的一個*特性。

雙補償器2C全穆勒矩陣測量

通過創(chuàng)新的雙補償器2C設(shè)計擴展了步進掃描分析器SSA原理，允許測量全穆勒矩陣。該設(shè)計是可現(xiàn)場升級和實現(xiàn)成本效益的附件。

SpectraRay/4綜合橢偏儀軟件

SpectraRay/4 是用于*材料分析的全功能軟件包。SpectraRay/4 包括用于與引導圖形用戶界面進行研究的交互模式和用于常規(guī)應(yīng)用的配方模式。

SENresearch 4.0 是SENTECH新的光譜橢偏儀。每一臺SENresearch 4.0光譜橢偏儀都是根據(jù)客戶具體配置的光譜范圍、選項和現(xiàn)場可升級附件而制造的。

SENresearch 4.0 使用快速的傅立葉紅外光譜儀FTIR測量至2500 nm或3500 nm的近紅外光譜。它提供了寬的光譜范圍，具有的信噪比，可選擇的光譜分辨率。可測量硅薄膜厚度高達200μm。傅立葉紅外光譜儀FTIR的測量速度與二極管陣列配置相比，也可選擇高達1700納米。

新的金字塔形狀的自動角度計具有從20度到100度的角度范圍。光學編碼器確保精度和角度設(shè)置的長期穩(wěn)定性。光譜橢偏儀手臂可以獨立移動，用于散射測量和角度分辨透射測量。

Sentech光譜橢偏儀測厚儀

SENresearch 4.0 根據(jù)步進掃描分析器(SSA)原理進行操作。SSA將強度測量與機械運動分離，從而允許分析更加粗糙的樣品。所有光學部件在數(shù)據(jù)采集期間都處于靜止狀態(tài)。此外，SENresearch 4.0 包括用于自動掃描和同步應(yīng)用的快速測量模式。

定制的SENresearch 4.0橢偏儀可以配置用于標準應(yīng)用。例如介電層堆疊、紋理表面、光學和結(jié)構(gòu)(3D)各向異性樣品。為各種各樣的應(yīng)用提供了預定義的配方。