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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 化工,電子,電氣 |
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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
四點探針臺
使用四點探針臺,機臺的手臂可快速更換模塊式探針頭,探針頭將針尖間距及壓力參數(shù)固定,當探頭的探針點在基板上時, 附有內(nèi)藏彈簧的探針會將四根針同時收縮,在固定的下壓應力使測量的穩(wěn)定性增加,外搭儀器Keithley 2400 /Keysight 2900可做測量.在制程改進方面只要將V/I這個數(shù)值彼此的位置互相比較或跟上一次V/I比較為參考,不需要再乘上一些其它系數(shù)做太復雜的演算.可以選購奕葉的軟件使操作簡單化及自動化,適用于半導體、太陽能、OLED、微機電、燃料電池等各式產(chǎn)業(yè)。
一、規(guī)格
l 探針間距：40mil，62.5 mil
l 探針壓力：80g
l 探針材質(zhì)：BeCu Tungsten Carbide
l 高溫選配：High Temp. 200 ℃
l 卡盤尺寸可選擇：6英寸、8英寸、12英寸；
l 材料：特氟龍
l 探針升降長度：30毫米
l 探針臺Z軸升降精度為：20微米
l 探針材質(zhì)：碳化鎢、鈹銅合金
l 探針距離：40mil、50mil、62.5mil
l 彈簧探針力度：45grams、85grams、180grams
l 探針直徑：40.6微米
l 尺寸：220mm長x420mm寬x250mm高
l 重量：20Kg
二、特點
l 可垂直上下移動
l 特殊恒定負載的彈簧探針
l 恒定的探針間距
l 可保持極大程度的重復性測試
l 探頭方便更換
l 探針臺頂部可調(diào)整Z軸移動
l 穩(wěn)固的連接線在探針臺后面
l 轉接頭可選擇：Banana/ BNC/ Triaxial Female
l 卡盤可快速移動
l 可以配合加熱吸盤使用
l 卡盤尺寸可以選擇：6英寸、8英寸、12英寸
l 氣動的SR-4可用開關控制升降
三、應用
l 薄膜偏電阻 Sheet Resistivity
l 體積偏電阻 Volume Resistivity
l 導電率Doping Quality
l 金屬膜厚Metalization Thickness
l P/N極性P/N Typing
l 電流電壓I-V特性 V/I Measurement
四、其他應用
l 高阻低電流
l 溫度環(huán)境下量測RT~200℃
l 超高溫RT~1200 ℃
l 無氧環(huán)境下
l 微小間距小10 micron
l 大面積尺寸基板1200mm×900mm
l 儀器結合軟件
l 自動移動測量