一、產(chǎn)品概述

頤光科技橢偏檢測機(jī)臺作為一種小型橢偏集成機(jī)臺，通過整體高度模塊化，電、氣路集成技術(shù)，實(shí)現(xiàn)不同橢偏測量模塊在線/離線式整體橢偏測量解決方案。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

■ 支持實(shí)驗室研究整體橢偏集成控制測量技術(shù)；

■ 支持產(chǎn)線大基片離線自定義多點(diǎn)掃描測量并輸出報告；

■ 支持多橢偏方案，多組合集成

■ 支持測頭模塊以及樣件機(jī)臺定制化

三、應(yīng)用場景 

應(yīng)用于科學(xué)研究中各種各向同性，異性薄膜材料的膜厚、光學(xué)常數(shù)以及一維、二維納米光柵的結(jié)構(gòu)表征；工業(yè)領(lǐng)域新型光電器件行業(yè)所涉及的薄膜（配向膜、光刻膠、ITO、發(fā)光薄膜、封裝薄膜）全片離線化快速掃描測量。

參考設(shè)計方案 

高度整合橢偏技術(shù)方案

技術(shù)參數(shù)