廢水處理分為三個階段：首要階段為預(yù)處理，主要采用機械方法，通過格柵、沉淀或氣浮去除廢水中的懸浮物和部分有機物；二級處理一般采用生物法，可以大大去除水中的膠體有機物和溶解有機物；三級處理又稱深度處理，可以進(jìn)一步去除二級處理無法去除的污染物，如磷、氮、難生物降解的有機污染物、無機污染物、病原體等，達(dá)到二級處理無法達(dá)到的脫色、除臭目標(biāo)，達(dá)到改善水質(zhì)和國家相關(guān)排放標(biāo)準(zhǔn)的要求，廢水可循環(huán)利用。

廢水深度處理工藝主要包括臭氧發(fā)生器氧化處理廢水、活性炭吸附、膜分離等。由于臭氧具有強氧化、強滅菌消毒的特點，除臭功能難以替代，因此在許多情況下需要利用廢水處理用設(shè)備臭氧發(fā)生器技術(shù)對廢水進(jìn)行深度處理，以達(dá)到更好的處理效果。在廢水的深度處理中，臭氧可以用來去除化學(xué)需氧量和生化需氧量，破壞有害化學(xué)物質(zhì)。臭氧及其產(chǎn)生的活性OH自由基破壞廢水中發(fā)色團(tuán)的不飽和鍵，生成小分子酸和醛，以及低分子量有機物，大大降低水體的色度，氧化廢水中的金屬離子沉淀不溶物，有利于絮凝，提高沉淀效果，有效控制有機微生物，使循環(huán)水中COD和AO。

臭氧在降低污水中COD含量、提高水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、達(dá)到A級排放標(biāo)準(zhǔn)、中水回用等方面發(fā)揮著*的作用。廢水處理用設(shè)備臭氧發(fā)生器已廣泛應(yīng)用于城市污水處理。在中水處理領(lǐng)域，臭氧+膜生物反應(yīng)器工藝組合技術(shù)作為有效工藝之一，得到了越來越多的應(yīng)用。