在高純度的水系統(tǒng)中，總會(huì)擔(dān)心微生物在系統(tǒng)中生長。當(dāng)增長超過系統(tǒng)限制時(shí)，產(chǎn)品生產(chǎn)就會(huì)迅速停止。控制高純度系統(tǒng)中的細(xì)菌的方法之一是使用高純度水處理臭氧發(fā)生器作為消毒劑，有效的方法是將臭氧溶解于罐內(nèi)的高純度水中，然后在將水送入分配循環(huán)之前去除臭氧。這種消毒劑功能強(qiáng)，速度快，但是在循環(huán)開始時(shí)容易生產(chǎn)，也容易清除。按電化學(xué)氧化電位(EOP)，臭氧比雙氧水、次氯酸鈉和氣態(tài)氯高。有些資料稱，臭氧比氯的速度快2000到3000倍。

其殺傷作用是細(xì)胞分裂，導(dǎo)致細(xì)胞壁破裂，釋放內(nèi)毒素，然后進(jìn)一步氧化。它對所有細(xì)菌、病毒、囊腫和孢子都有不同程度的攻擊。所以需要多少臭氧來控制細(xì)菌？試驗(yàn)顯示，在0.008ppm或更高濃度時(shí)，臭氧沒有增加。但在大多數(shù)情況下，建議罐內(nèi)殘留0.1至0.2ppm，以便使菌落形成單位低于1CFU/100ml。產(chǎn)生臭氧的方法有幾種。在185納米條件下操作紫外線可獲得低濃度。在水系統(tǒng)中，電暈放電更能產(chǎn)生臭氧。高純度水處理臭氧發(fā)生器采用這種方法，空氣或氧氣通過平行的金屬板或同心不銹鋼管之間的縫隙進(jìn)入。板材或管子中的一種，通常為內(nèi)管，由電介質(zhì)(絕緣)覆蓋，可以防止高壓在整個(gè)空間產(chǎn)生電弧。這樣就產(chǎn)生了穩(wěn)定可控的放電，又稱電暈放電。在氧氣通過這個(gè)電場的時(shí)候，一些氧分子分裂為原子，合成臭氧。