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外部尺寸641*533*451mm （1341*533*451mm可選底

座）

真空腔尺寸材質(zhì)6061-T6 鋁合金241mm*280mm*201mm

電極尺寸200mm *200mm，多控自適應(yīng)平板電極

等離子體發(fā)

生器

頻率：13.56MHz；自動阻抗匹配電源

功率0-200W 連續(xù)可調(diào)，精度 1W 自適應(yīng)功率匹配

0-500W連續(xù)可調(diào)，精度 1W自動阻抗匹配電源

0-750W 連續(xù)可調(diào)，精度 1W自動阻抗匹配電源

真空計 熱電偶真空計0-100KPa

供氣2 路氣體，精密針閥控制

控制方式4.3 寸觸摸屏，多級應(yīng)用菜單，操控簡易快捷

選配件飛越VRD 油泵/萊寶/安捷倫DS 系列干泵

電源220V，10A

1. 桌面型，性能穩(wěn)定、操作簡便、使用成本極低、易于維

護，高性價比。

2.小身材，有效處理面積大，可以輕松處理 8 寸硅片去膠等

應(yīng)用。

3.氣浴電極，清洗效率高。

4.靈活的電極配置方案，最多可以處理2 片 8 寸硅片。

5.對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、

硅片、 塑料等物件表面進行超清洗和表面改性。