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高低溫真空探針臺(tái)
可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測試（4.2K~500K），可升級(jí)加載磁場，低溫防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品臺(tái)采用高純度無氧銅制作，溫度均勻性更好，溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復(fù)性的PT100或者標(biāo)定過的硅二極管作為測溫裝置，支持光纖光譜特性測試，兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)，器件的高頻特性(支持高67GHz頻率)，探針熱沉設(shè)計(jì)，LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長測試，自動(dòng)流量控制，材料/器件的IV/CV特性測試等。
高低溫真空探針臺(tái)
高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運(yùn)特性等。
t 防震桌
t 多級(jí)壓縮制冷機(jī)
t 機(jī)械泵/分子泵組/離子泵
t 射頻部件
t 各類型頻率真空接頭
t 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線等…
t 各類探針夾具
t Chuck運(yùn)動(dòng)裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)
t 超高溫升級(jí)選件
t 超高真空升級(jí)選件
技術(shù)指標(biāo)：
型號(hào) | T81-50探針臺(tái) | T80-50探針臺(tái) |
制冷方式 | 液氦/液氮制冷 | 閉循環(huán)制冷機(jī) |
腔體材質(zhì) | 無磁不銹鋼或者鋁合金 | |
真空度 | 高真空10-8Pa | |
真空腔觀察窗尺寸 | 2inch（可選） | |
控溫范圍 | 4.2K-450K | 5K-450K |
控溫分辨率 | 0.001K控溫儀相關(guān) | |
溫度穩(wěn)定性 | 0.1K控溫儀相關(guān) | |
降溫時(shí)間 | 40min | 150min內(nèi)，視制冷機(jī)功率定 |
溫度傳感器 | 硅二極管、PT100（3個(gè)，樣品臺(tái)和探針臂和防輻射屏上各一個(gè)） | |
加熱電源 | LVDC 低壓直流 | |
樣品臺(tái)材質(zhì) | 鍍金無氧銅 | |
樣品臺(tái)尺寸 | 直徑20-50mm，可選100mm | |
樣品臺(tái)平整度 | ≤7μm | |
樣品臺(tái)固定方式 | 固定的樣品臺(tái)（可升級(jí)隨位移臺(tái)移動(dòng)） | |
樣品臺(tái)振動(dòng)級(jí)別 | ≤50納米 | ≤1μm（三級(jí)減震） |
探針臂數(shù)量 | 2個(gè)、4個(gè)、6個(gè)、8個(gè)可選 | |
探針臂機(jī)械精度 |
| |
探針種類 | 鎢、鈹銅、微波探針（可選高達(dá)67GHz的GSG探針） | |
探針調(diào)節(jié) | 真空波紋管外部調(diào)節(jié)，手動(dòng)控制 | |
放大倍數(shù) | 16~100X/20~4000X | |
顯微鏡行程 | X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm | |
電力需求 | 220V 50-60Hz | |
應(yīng)用范圍：
磁特性測試、微波特性測試、直流、RF特性測試，微電子機(jī)械系統(tǒng)，超導(dǎo)電性測試，納米電路的光電屬性，量子點(diǎn)和線，高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運(yùn)特性等
可選附件：
t 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線
t CCD或C-MOS視頻成像裝置
t Chuck運(yùn)動(dòng)裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級(jí)
t 超高溫升級(jí)選件
t 超高真空升級(jí)選件
t 各類探針夾具
t 屏蔽箱
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±12.5mm(可升級(jí)±25mm),精度1μm（可選）