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荏原ESA500真空泵維修

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參考價 6500
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  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 東莞市
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更新時間:2020-07-09 14:19:55瀏覽次數(shù):430

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荏原ESA500真空泵維修:
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詳細(xì)介紹

荏原ESA500真空泵維修

荏原ESA500真空泵維修

ESA型は、MO-CVD等の大流量軽ガス排気性能及びLCDスパッタ裝置?真空乾燥プロセス?大型ロードロック室等の高速排気性能に優(yōu)れ、負(fù)荷に応じた回転數(shù)自動制御機能?通信機能等の付加価値を搭載した獨立設(shè)置型ドライ真空ポンプです。

特長

型式:ESA15-D/ESA25-D/ESA70W(-D)/ESA70WN(-D)/
ESA80W-HDF/ESA80WN-HDF/ESA100W/ESA100WN

 

(1)泵總體結(jié)構(gòu)型式

真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。

立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重芯較高,在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵。

臥式泵的進(jìn)氣口在上,排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時,排氣口可以從左或右兩個方向開口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重芯低,高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。

泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制,轉(zhuǎn)子裝配方便,泵占地面積小。但泵重芯較高且齒輪拆裝不便,潤滑機構(gòu)也相對復(fù)雜。

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