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產(chǎn)品特點

全新外觀設計，適配實驗室實驗操作

先進的設計理念，模塊化設計

可快速拆卸和替換原有功能模塊，操作便捷

支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個性化定制

可實現(xiàn)不同功能模塊的自由組合定制

配載精密的運動控制系統(tǒng)，提高實驗精度及重復性

產(chǎn)品參數(shù)

轉(zhuǎn)速范圍：20-10000rpm

轉(zhuǎn)速分辨率：±1rpm

加速度可調(diào)范圍：20-50000rpm/s

單步時長：3000s

時間分辨率：0.1s

適用基片尺寸：4/6/8寸標準晶圓，非標準基片可定制載物盤

顯影噴嘴距離基片高度可調(diào)，可調(diào)范圍10-50mm

可添加背洗功能（根據(jù)客戶需求而定）