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愛德華iH系列晶圓半導體干式真空泵維修保養(yǎng)

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參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號 IH系列維修
  • 品牌 Edwards/英國愛德華
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 東莞市
在線詢價 收藏產品

更新時間:2020-04-10 09:57:58瀏覽次數(shù):992

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產品簡介

泵軸位置 臥式 輸送介質 其他
葉輪數(shù)目 其他 應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,食品,化工,電子,印刷包裝
Edwards愛德華iH系列晶圓半導體干式真空泵維修保養(yǎng)
Edwards愛德華高級半導體真空泵已經過現(xiàn)場應用證明,可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時減小占地面積、降低運行成本,實現(xiàn)了高的可靠性

詳細介紹

Edwards愛德華iH系列晶圓半導體干式真空泵維修保養(yǎng)

Edwards愛德華高級半導體真空泵已經過現(xiàn)場應用證明,可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時減小占地面積、降低運行成本,實現(xiàn)了高的可靠xing。
iH 系列真空泵為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠xing。

Edwards愛德華iH 系列半導體干式真空泵產品型號:iH80iH160iH1000 iH1800

英國愛德華 Edwards半導體 iH80技術參數(shù):

iH1800HTX技術參數(shù):

英國愛德華 Edwards半導體 iH80應用行業(yè):

負載鎖

輸送

計量

平版印刷

PVD 制程

PVD 預清潔

RTA

剝離/灰化

刻蝕

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

 

愛德華iH系列晶圓半導體干式真空泵維修保養(yǎng)

 

英國愛德華 Edwards半導體 iH80產品功能和優(yōu)勢:

優(yōu)化了設施消耗。

無需預防性維護。

懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。

在節(jié)省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩(wěn)定xing。

耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。

較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。

整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。

 

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