量程范圍

在較高壓力時(10~1Pa)利用壓力差U型管壓力計(jì)，麥克勞真空計(jì)，薄膜計(jì)，彈簧管壓力計(jì)等[1] 。

在10~10Pa的中間壓力范圍，承裝修試電力資質(zhì)數(shù)字式真空計(jì)1-1000Pa利用氣體性質(zhì)(熱傳導(dǎo)，粘性)的變化而做成的皮氏計(jì)、粘性真空計(jì)。

在低壓力時，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計(jì)。

表2 真空計(jì)的適用壓力范圍

分類原理介紹

按照真空計(jì)測量原理所利用的不同的物理機(jī)制，承裝修試電力資質(zhì)數(shù)字式真空計(jì)1-1000Pa可將主要的真空計(jì)分為三大類，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。

利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī);利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī);利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。