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Agilent安捷倫CombiNEG 150-1000 和 150-2000 吸氣劑復(fù)合型離子泵在 150 L/s VacIon 泵中集成了大容量 D1000 或 D2000 非蒸散型吸氣劑泵芯。三極離子泵或二極離子泵可為氬氣和其他殘留惰性氣體提供較高抽速，而吸氣劑泵可為可吸收氣體提供較高抽速，因此具有同時處理大量惰性氣體、氫氣和其他可吸收氣體的優(yōu)勢。內(nèi)部防護罩可延長 NEG 的使用壽命。

通用而緊湊的CombiNEG 150吸氣劑復(fù)合型離子泵適合要求較高的應(yīng)用，此類應(yīng)用中需要在超高等真空狀態(tài)下達到超高抽速。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品特點

·三極離子泵抽氣單元可快速抽除惰性氣體，而吸氣劑泵可快速抽除活性氣體，二者結(jié)合可達到較高的組合抽速，縮短達到超高真空等真空狀態(tài)所需的時間。

·燒結(jié)吸氣劑泵的設(shè)計緊湊，可提供比質(zhì)量較差的壓結(jié)末吸氣劑泵更好的解決方案，并消除粉末進入系統(tǒng)的風(fēng)險。

·配備 ConFlat 4.5 英寸非旋轉(zhuǎn)型法蘭以及用于吸氣劑泵的額外 ConFlat 2.75 英寸法蘭。

·可以選擇不同方向的真空穿導(dǎo)件，實現(xiàn)靈活性。

·無活動部件，確保在高靈敏度應(yīng)用中無振動運行。

·低漏電流可提供穩(wěn)定的真空壓力讀數(shù)。

·低磁場可減少系統(tǒng)干擾。

·在 > 400 °C 的條件下進行真空處理，并在真空下夾止，確保安裝前的清潔度和真空密封性。

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品選型