PicoFemto手動探針臺系統(tǒng),物理實(shí)驗室探針臺,可定制手動探針臺系統(tǒng)，整套PicoFemto手動探針臺系統(tǒng)包配置如下：

探針臺主體

- 可測試晶圓尺寸：4英寸

- 樣品臺行程：100mm*100mm

- 移動分辨率：~0.1mm

- 樣品臺旋轉(zhuǎn)范圍：360度

- 超低漏電底柵接口，標(biāo)準(zhǔn)Triax輸出

- 可選400度高溫樣品臺

顯微鏡

- 舜宇三目連續(xù)變倍體視鏡，LED環(huán)形照明

- 光學(xué)變倍總倍率45倍，物鏡0.7~4.5倍連續(xù)變倍

- 可選配高清攝像頭，總放大倍率約700倍

針座

- 磁性吸附底座，XYZ移動范圍：12mm

- 移動分辨率2um

- 標(biāo)配4個，多可裝6個

探針線纜

- 超低漏電探針設(shè)計，漏電流低于100fA

- Triax標(biāo)準(zhǔn)接口輸出，Keithley原裝低噪聲Triax線纜

探針

- 超低漏電探針設(shè)計，針尖直徑標(biāo)配10um，小1um

尺寸和自重

- 尺寸：450mmW*450mmD*500mmH

- 自重：約30Kg