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高分辨率、大范圍
采用*的算法，實(shí)現(xiàn)垂直方向分辨率0.01 nm（Phase模式下）。由于無需依賴于物鏡的倍率即可實(shí)現(xiàn)較高的垂直方向分辨率，即使是大范圍（大測量視野6.4 mm × 6.4 mm）的情況下，也能測量納米尺度的粗糙度、高差。

測量數(shù)據(jù)的重現(xiàn)性高
高度測量使用干涉條紋，將Z驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生的影響控制在小程度，從而實(shí)現(xiàn)測量重現(xiàn)性誤差低于0.1%（Phase模式下）。