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高性能電子光學系統(tǒng)

• 二次電子分辨率: 頂位二次電子探測器(2.0 nm at 1kV)＊
• 高靈敏度: 高效PD-BSD, *的低加速電壓性能，低至100 V成像
• 大束流(>200 nA): 便于高效微區(qū)分析

  性能優(yōu)異

• 壓力可變: 具有優(yōu)異的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配備高靈敏度低真空探測器(UVD)＊
• 開倉室快速簡單換樣(大樣品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
• 微區(qū)分析: EDS, WDS, EBSD等等