OWIS 位移平臺等測量設(shè)備
工作原理*:施加電流,產(chǎn)生形變
驅(qū)動特點(diǎn):驅(qū)動由壓電陶瓷的位移產(chǎn)生,可識別的最小位移遠(yuǎn)小于一般的驅(qū)動方式
直流電機(jī)驅(qū)動位移臺:給電機(jī)施加電流,電機(jī)轉(zhuǎn)動帶動絲杠使位移臺運(yùn)動
壓電陶瓷驅(qū)動位移臺:給壓電陶瓷施加電流,壓電陶瓷受電產(chǎn)生形變,帶動位移臺運(yùn)動
最小位移:位移臺可識別的最小位移量,位移臺由電機(jī)驅(qū)動,例如位移臺最小位移1mm,對應(yīng)電機(jī)直流電流2mA,則電機(jī)直流電流大于2mA時位移臺才能感知到電流并且運(yùn)動,而壓電陶瓷驅(qū)動由于是通過形變產(chǎn)生,所以位移臺的最小位移趨近于無窮小,電流也趨近于無窮小。
比如“直流電機(jī)驅(qū)動位移臺",電機(jī)轉(zhuǎn)動最少1圈,位移臺才能夠識別,運(yùn)動1mm;輸入5mA電流只夠驅(qū)動直流電機(jī)轉(zhuǎn)動半圈,這個時候位移臺是無法識別的,無法運(yùn)動?!岸鴫弘娢灰婆_可以理解為,只要輸入電流哪怕再小只有1mA,壓電陶瓷也會產(chǎn)生形變(拉長),形變就能帶動位移臺運(yùn)動,所以壓電位移臺的最小位移趨近于無限小"
電機(jī):將電脈沖信號轉(zhuǎn)換為機(jī)械能的部件(直流電機(jī),步進(jìn)電機(jī),壓電電機(jī))
傳動裝置:將電機(jī)或人手輸出的能量轉(zhuǎn)換成位移臺實(shí)際行程(滾珠絲杠,交叉滾柱導(dǎo)軌)
光柵尺傳感器:利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置,可用作直線位移或者角位移的檢測,光柵尺檢測工作臺的位置坐標(biāo)后反饋給電機(jī)從而進(jìn)行反饋補(bǔ)償
控制箱:由控制板卡,延時開關(guān),濾波器,電源等組成
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OWIS 型號示例:
KTA 40B-D15
KSHM 40-RE-MDS
NG-E02
KSHM 40-LI-MDS
OWIS 25
FGS 7-10
OWIS 位移平臺等測量設(shè)備