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目錄:上海沛沅儀器設(shè)備有限公司>>等離子沉積鍍膜>>等離子涂覆>> PLUTO-MC真空等離子體涂覆薄膜沉積設(shè)備

真空等離子體涂覆薄膜沉積設(shè)備
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參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 PLUTOVAC
  • 型號 PLUTO-MC
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 上海市
屬性

>

更新時間:2025-01-21 15:41:21瀏覽次數(shù):1948評價

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真空等離子體涂覆薄膜沉積設(shè)備Pluto-MC利用等離子體改性時,將試樣置于特定的離子處理裝置中,通過高能態(tài)的等離子轟擊試樣的表面,將能量傳遞給試樣表層的分子,使試樣發(fā)生熱蝕、交聯(lián)、降解和氧化反應(yīng),并使試樣表面發(fā)生C-F鍵和C-C鍵的斷裂,產(chǎn)生大量自由基或引進(jìn)某些極性基團(tuán),從而優(yōu)化試樣表面的性能。

真空等離子體涂覆薄膜沉積設(shè)備

常規(guī)的沉積涂覆工藝的缺點(diǎn):


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涂層厚度為毫米量級會影響電子產(chǎn)品的外觀及性能。

  • 大量的化學(xué)品消耗,污染嚴(yán)重。

  • 毛細(xì)效應(yīng),導(dǎo)致高密度器件表面無法實(shí)現(xiàn)涂層。

  • 樣品處理前仍然需要進(jìn)行復(fù)雜的清洗工藝以確保涂層黏附性。

  • 涂覆有方向性,影響整體防護(hù)效果。

  • 涂覆會影響樣品的射頻穿透性及產(chǎn)品的外觀。

 

 

設(shè)備工作原理:

Pluto-MC利用等離子體改性時,將試樣置于特定的離子處理裝置中,通過高能態(tài)的等離子轟擊試樣的表面,將能量傳遞給試樣表層的分子,使試樣發(fā)生

熱蝕、交聯(lián)、降解和氧化反應(yīng),并使試樣表面發(fā)生C-F鍵和C-C鍵的斷裂,產(chǎn)生大量自由基或引進(jìn)某些極性基團(tuán),從而優(yōu)化試樣表面的性能。

 

等離子體對其改性的主要途徑是引發(fā)表面接枝,具體方法是用非聚合氣體(如Ar,H2,O2,N2和空氣等)對樣品表面進(jìn)行等離子體處理,使其表而形成活性自

由基,之后利用活性自由基引發(fā)功能性單體,使其在表面進(jìn)行接枝聚合。利用沉淀反應(yīng)進(jìn)行表面改性,這是工業(yè)上目前應(yīng)用最多的方法。



 

真空等離子體涂覆薄膜沉積設(shè)備產(chǎn)品特點(diǎn):

1.13.56MHz射頻電源與自動匹配系統(tǒng),具備優(yōu)異的穩(wěn)定性與可重復(fù)性。

2.優(yōu)化的氣體饋入與分布設(shè)計,提供優(yōu)秀的處理均勻性。

3.可靈活設(shè)置的電極及電極的實(shí)時可控,滿足功能材料的大面積可控沉積。

4.精準(zhǔn)安全的液態(tài)源供應(yīng)系統(tǒng),滿足不同功能材料的快速大面積沉積。

5.PLC提供穩(wěn)定的過程控制,設(shè)備運(yùn)行的實(shí)時參數(shù)通過顯示屏直觀呈現(xiàn)。

6.系統(tǒng)設(shè)置多級管理權(quán)限,集簡易的操作體驗(yàn)與嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓に嚬芸嘏c一體。


PLUTO-MC等離子涂覆鍍膜參數(shù):

  • 最大涂覆面積:150mm*150mm

  • 頻率:13.56MHz

  • 功率:0-200W

  • 物料容積:10-150ml

  • 溫控范圍:加熱(室溫~200℃)保溫(室溫~200℃)

  • 流量控制:轉(zhuǎn)子流量計

  • 管路:最多4路氣體(同時可通入4種物質(zhì))

  • 電源電壓:交流220V

 

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