GV400愛德華干式泵干式螺旋真空泵浦乃是利用一對(duì)互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子，在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)腔體內(nèi)無(wú)需潤(rùn)滑，因而無(wú)油氣回漏污染的問(wèn)題。透過(guò)轉(zhuǎn)子線形良好的密封效果，壓力可達(dá)7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強(qiáng)，加上轉(zhuǎn)子表面披覆特殊材質(zhì)的鍍膜，因此可適用于PECVD、Etching等嚴(yán)苛制程。東莞鑰大真空設(shè)備有限公司提供Pfeiffer普發(fā)、Leybold萊寶、adixen阿爾卡特、Edwards愛德華、Varia瓦里安、ULVAC愛發(fā)科等進(jìn)口品牌的真空泵 螺桿泵維修保養(yǎng)服務(wù)

GV400愛德華干泵維修流程

（1）擦凈零件，疏通油孔 。

（2）把旋片及彈簧裝入高級(jí)轉(zhuǎn)子槽內(nèi)后，把高級(jí)轉(zhuǎn)子裝入泵身內(nèi)，裝上高級(jí)泵蓋、肖、螺釘、鍵、軸套等，用手旋轉(zhuǎn)，應(yīng)無(wú)滯阻和明顯輕重。

（3）低級(jí)轉(zhuǎn)子裝配同上。

（4）裝止回閥葉輪部件，應(yīng)使止回閥平面對(duì)準(zhǔn)進(jìn)油咀孔二用于輕輕擋住葉輪并旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子，油孔應(yīng)時(shí)開時(shí)閉，調(diào)整閥頭平面開啟高度為0. 8-1. 1mm。

（5）裝上泵部的排氣閥、擋油板等零件。

（6）把泵部件、鍵、軸套、電機(jī)裝在支座上。

（7）裝油箱。

（8）插入進(jìn)氣咀、氣鎮(zhèn)閥、裝上壓板，螺釘緊固。

注意：

（1）裝配時(shí)，各摩擦面應(yīng)涂上清潔的真空泵油。

（2）記住零件的原裝配位置，可減少跑合時(shí)間。

（3）緊固體應(yīng)無(wú)松動(dòng)，緊固時(shí)應(yīng)均勻施力。

（4）對(duì)磨損零件應(yīng)檢查，并酌情修理或調(diào)換。

（5）總裝結(jié)束后，可以從泵進(jìn)氣口加入少量泵油，然后用手轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，手的感覺應(yīng)是阻力均勻，無(wú)明顯阻滯現(xiàn)象。

我們將按GV400愛德華干泵維修流程，為客戶保證維修之設(shè)備的質(zhì)量