Z1軸（傳感器）

60mm

Z軸  （立柱）

500mm

測(cè)量精度

X軸距離測(cè)量精度

(L=X軸導(dǎo)軌移動(dòng)距離,單位：mm)

±(1+L/300)μm

Z1軸測(cè)量精度

(H=Z1軸方向測(cè)量高度,單位：mm)

±(0.8+6H/100) μm

半徑R

測(cè)量精度

R≤10mm

±1.0μm

10mm≤R≤25mm

±1.0+(R/12)μm

25mm≤R≤300mm

±1.0+(R/8)μm

300mm≤R

±1.0+(R/4)μm

X軸橫臂

直線度

0.15μm/60mm

光柵分辨率

0.1μm

光柵產(chǎn)地

美國microe

Z1軸傳感器

分辨率

0.05μm

傳感器類型

數(shù)字傳感器

產(chǎn)地

美國microe

移動(dòng)方向

前/后 雙方向

測(cè)力

0.5-6g

測(cè)針形狀

雙切面測(cè)針

測(cè)針長度

20mm

測(cè)桿長度

150mm

爬坡角度

上升77度 下降88度

速度

測(cè)量速度

0.02mm/s,0.05mm/s,0.1mm/s,

0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,

2.0mm/s,4.0mm/s(8個(gè))

定位速度

0.02mm/s,0.05mm/s,0.2m/s,

0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,

3.0mm/s,4.0mm/s(8個(gè))

綜合調(diào)整臺(tái)

X軸水平傾斜調(diào)整范圍：±30°

Y軸方向調(diào)整范圍：±7.5mm

Z軸回轉(zhuǎn)可調(diào)360度（帶微調(diào)裝置）

承載重量

120KG

圖形放大

可任意縮小、放大

測(cè)量使用要求

工作壓力

0.35～0.43Mpa

氣源壓力

0.45～0.80Mpa

氣源流量

≥0.2 m3/min

電源

AC 220V±10%  50Hz

環(huán)境要求

溫度：10～30℃

相對(duì)濕度：＜85%

氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)

方立柱系統(tǒng)

傳感器系統(tǒng)

進(jìn)口光柵尺系統(tǒng)

調(diào)整工作臺(tái)

水平調(diào)整系統(tǒng)

回轉(zhuǎn)及角度調(diào)試系統(tǒng)

平口裝夾系統(tǒng)

校正標(biāo)準(zhǔn)件一套

測(cè)針與測(cè)桿

Φ2*18mm  雙刀面測(cè)針  2根

Φ5*120mm 測(cè)桿   1根

空氣過濾系統(tǒng)

電器部分

電器控制系統(tǒng)

工業(yè)控制計(jì)算機(jī)

工控主板 NORCO950

工控底板 NORCO PBP-14P4

CPU E5500

金士頓 2G 三代

硬盤SEAGATE 500G

17″普屏液晶

基于win XP系統(tǒng)下MMD測(cè)量軟件

HP噴墨打印機(jī)