目錄:深圳市科晶智達(dá)科技有限公司>>鈣鈦礦太陽能電池制備>> MSK-PSE-ALD1010原子層沉積系統(tǒng)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,綜合 |
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MSK-PSE-ALD1010原子層沉積系統(tǒng)
功能特點(diǎn) |
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外熱式反應(yīng)腔體，加熱結(jié)構(gòu)在真空室外，反應(yīng)腔室維護(hù)保養(yǎng)無需拆卸腔室加熱器或樣品臺加熱器；
配有可拆卸片托，支持100mm*100mm方片及以下尺寸的樣品；
3路前驅(qū)體源系統(tǒng)（包括2路金屬源和1路水源）；
高性能真空系統(tǒng)和殘余前驅(qū)體源處理熱阱；
自動控制沉積系統(tǒng)和工藝壓力實時檢測顯示；
可置于手套箱底部與手套箱對接；
可視化的操作界面，實時顯示系統(tǒng)各部分運(yùn)行狀態(tài)，可方便的調(diào)節(jié)溫度、流量、脈沖時間等參數(shù)，編輯并保存配方參數(shù)；
多用戶權(quán)限分配，軟硬件互鎖，異常報警、緊急停機(jī)等功能確保安全性；
沉積模式可設(shè)為連續(xù)模式或停流模式；
外置移動支架顯示器操作。
MSK-PSE-ALD1010原子層沉積系統(tǒng)
| 技術(shù)參數(shù) | ||
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| 電源 | 三相五線制AC380V±10%，頻率50Hz/60Hz，功率約12KW | |
| 反應(yīng)腔體 | 腔室 | 外熱式單腔腔室 |
| 樣品尺寸 | 最大100mm*100mm方片及以下尺寸 | |
| 反應(yīng)溫度 | 最高150℃ | |
| 前驅(qū)體源系統(tǒng) | 金屬源 | 2路標(biāo)準(zhǔn)加熱前驅(qū)體源 配置Swagelok高溫快速ALD閥（響應(yīng)時間＜10ms）、手動隔膜閥和50mL不銹鋼源瓶 源瓶及管路加熱溫度室溫至200℃ |
| 水源 | 1路水源 配置Swagelok高溫快速ALD閥（響應(yīng)時間＜10ms）、手動球閥和50mL不銹鋼源瓶 | |
| 載氣系統(tǒng) | 2路載氣系統(tǒng) 全套管路+VCR密封，前驅(qū)體源管路具有在線清洗功能 | |
| 真空系統(tǒng) | 極限真空 | 小于5×10-3Torr |
| 真空漏率 | 小于5×10-7Pa·L/s | |
| 真空泵抽速 | 40m3/h | |
| 其他配置 | 真空泵前級配置熱阱，加熱溫度最高600℃,控制精度±1℃,用于吸附、分解未反應(yīng)的前驅(qū)體源 | |
| 真空計 | 真空計前設(shè)有保護(hù)真空計的高效過濾網(wǎng)，沉積過程中可以實時監(jiān)測顯示腔室壓力的變化 | |
| 主機(jī) | PLC+4U工控機(jī)+顯示器 | |
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