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詳細(xì)摘要： 供氣系統(tǒng)需要兩級減壓供氣。供氣匯流排減壓。氣體從15MPa減壓到小于1.5MPa，然后輸送到每個氣體使用實驗室。二級減壓器安裝在每個用氣實驗室或用氣點，便于對通...

詳細(xì)摘要： 所有氣體管路都由高質(zhì)量、退火型、高潔凈無縫連接的不銹鋼管組成。銅管也可使用在氣體管路的末端（低壓端）、或是某些對不銹鋼金屬過敏起反應(yīng)的氣體?；蚴菍怏w純度要求不...