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更新時(shí)間:2025-02-19 09:50:53瀏覽次數(shù):13評(píng)價(jià)
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供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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由于對(duì)光纖制造技術(shù)的傳統(tǒng)VAD(氣相軸向沉積)方法進(jìn)行了重大改進(jìn),成功開發(fā)了合成熔融石英SK-1300系列。 與傳統(tǒng)直接法相比,SK-1300系列純度高,OH含量低得多,因此它是第一種可用于半導(dǎo)體和液晶顯示行業(yè)的合成熔融石英。
SK-1300系列在光學(xué)特性方面是先進(jìn)的技術(shù),因?yàn)樗峁┝撕芨叩姆直媛首贤饩€透射,無微夾雜,耐日曬,此外還具有耐熱性、機(jī)械強(qiáng)度和耐化學(xué)性。 這些產(chǎn)品可用于半導(dǎo)體、光學(xué)和所有物理或化學(xué)相關(guān)研究的各種工業(yè)應(yīng)用。
可用于: 各種器件的晶片,如TFT(多晶硅薄膜晶體管LCD)、SOI(絕緣硅)等;超大規(guī)模集成電路和液晶顯示器用光掩?;?;ULSI制造工藝用反應(yīng)器爐管、夾具和工具;放電管;用于紫外和真紫外的光學(xué)元件,透鏡,反射鏡,窗口。
OHARA高質(zhì)量石英玻璃特點(diǎn)
1. 超高純度(總金屬雜質(zhì)小于0.5ppm);
2. OH含量可控制在1 ppm或以下((SK-1310);
3. 確保高耐熱性;
4. 實(shí)現(xiàn)高傳輸(SK-1310在紫外線、可見光和紅外的整個(gè)波長范圍內(nèi)都具有優(yōu)異的特性);
5. 不含氣泡或條紋;
6. 優(yōu)異的抗激光性能
OHARA高質(zhì)量石英玻璃參數(shù):
等級(jí) | 最大尺寸(mm) | 條紋1) | 均勻性2) | 雙折射2) (nm/cm2) | 氣泡雜質(zhì)3) (mm2/100cm3) | 熒光4) | 最佳透過范圍(nm) (>80%) |
SK-1300 | Φ850 xt150 | Class 1 Grade"A" | NS | ≤10 | 0 ~ 0.03 | NS | 170~2500 |
SK-1320L5) | Φ600 xt100 | Class 1 Grade"A" | NS | ≤5 | 0 ~ 0.03 | 無 | 170~2500 |
SK-1321 | Φ500 xt150 | Class 1 Grade"A" | 1D≤2x10-6 | ≤3 | 0 ~ 0.03 | NS | 170~2500 |
SK-1321L5) | Φ500 xt100 | Class 1 Grade"A" | 1D≤2x10-6 | ≤3 | 0 ~ 0.03 | 無 | 170~2500 |
SK-1322 | Φ500 xt150 | Class 3 Grade"A" | 3D≤2x10-6 | ≤3 | 0 ~ 0.03 | NS | 170~2500 |
SK-1322L5) | Φ500 xt100 | Class 3 Grade"A" | 3D≤2x10-6 | ≤3 | 0 ~ 0.03 | 無 | 170~2500 |
SK-1310 | Φ600xt150 | Class 1 GradeHA" | NS | 未標(biāo)明 | 0 ~ 0.03 | NS | 185~2700 |
NS: Not Specified
備注:
1) MIL-G-174定義
2) 有效面積為直徑的10%??筛鶕?jù)要求提供高均勻性和雙折射
3) 包含符合DIN58927定義的“A"級(jí)。
4) 能量密度≤30mJ/cm2入=248nm。可根據(jù)要求使用高能激光。
5) 耐久性∶30 mJ/cm2·200次激發(fā)后,≤0.1%/cm 在λ=248nm條件下。
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)