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紅外輻射顯微成像系統(tǒng)（微觀溫度分布成像）

IRLabs的IREM-IV紅外顯微鏡系統(tǒng)使您能夠更快、更準(zhǔn)確、更可靠地進(jìn)行半導(dǎo)體故障分析和調(diào)試。

IREM-IV相機(jī)提供超低噪聲擴(kuò)展波長(zhǎng)PEM成像，在工作電壓為400 mV的10 nm設(shè)備上具有經(jīng)驗(yàn)證的發(fā)射成像靈敏度。自行設(shè)計(jì)和制造的相機(jī)，用于低維護(hù)操作，，包括6位透鏡轉(zhuǎn)盤(pán)和超過(guò)20小時(shí)的LN2持續(xù)制冷時(shí)間。光學(xué)擴(kuò)展端口為外部激光掃描OBIRCH、LADA、TIVA和其他成像模式提供了升級(jí)路徑。

3.3NA SIL物鏡是定制設(shè)計(jì)的透鏡家族中的新產(chǎn)品，經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可在整個(gè)視場(chǎng)上提供衍射限制成像。自對(duì)準(zhǔn)SIL可自動(dòng)調(diào)平，以符合被測(cè)設(shè)備的局部輪廓。彎曲設(shè)計(jì)提供了低的接觸力，因此適用于成像安裝器件或裸晶圓。

集成輪廓傳感器，測(cè)量器件表面輪廓，高度分辨率優(yōu)于10 um。使用與精密x-y-z平臺(tái)集成的傾斜臺(tái)，可以直接測(cè)量和補(bǔ)償從翻轉(zhuǎn)邊緣或器件彎曲產(chǎn)生的局部表面傾斜。跟自對(duì)準(zhǔn)SIL相結(jié)合，以實(shí)現(xiàn)安全可靠的SIL成像。

擴(kuò)展波長(zhǎng)PEM成像通常是熱背景噪聲受限的。IREM-IV提供兩個(gè)內(nèi)部冷卻的濾光輪，因此光譜濾光器或背景限制孔徑適用于任何測(cè)量場(chǎng)景。

紅外輻射顯微成像系統(tǒng)（微觀溫度分布成像）指標(biāo)參數(shù)：

相機(jī)                                                                                                       運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)

●   1016×1016 液氮制冷MCT陣列                                                          ●   25nm分辨率

●   像元尺寸 18um                                                                                 ●   100mm運(yùn)動(dòng)范圍 （X-Y-Z）

●   400-2500nm 光譜響應(yīng)范圍                                                               ●    阻尼振動(dòng)隔離

●   6個(gè)位置自動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)                                                                         ●    電動(dòng)樣品傾斜選項(xiàng)

●   6個(gè)位置制冷濾光片/孔徑轉(zhuǎn)輪

●   大于20小時(shí)液氮維持時(shí)間

系統(tǒng)尺寸

●   顯微鏡   810mm x 876mm x 813mm， 160kg

●   控制系統(tǒng)  610mm x 1283mm x 762mm，90kg

物鏡選項(xiàng)：

參考圖例

**詳細(xì)技術(shù)參數(shù)可參考Datasheet或咨詢上海昊量光電設(shè)備有限公司。

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