1、測量表面光潔度范圍：10-14
2、工作物鏡的數(shù)值孔徑：0.65
3、工作距離：0.5mm
4、儀器的視場：目視：φ0.25mm
               照相：0.21* 0.15mm
5、測微目鏡放大倍數(shù)：目視：500X
                     照相：168X
6、測微目鏡放大倍數(shù)：12.5X
7、測微鼓分劃值：0.01mm
8、綠色干涉濾色片波長λ≈5300?
9、半寬度Δλ≈100?
10、工作臺升程：5mm
11、X、Y方向移動范圍≈10mm
12、旋轉(zhuǎn)運動范圍：360?
13、儀器標準鏡高反射率≈60%
14、低反射率≈4%
15、可調(diào)變壓器輸入電壓：220V
16、輸出電壓：4V-6V
17、儀器外形尺寸：270*160*230mm
18、儀器重量≈5公斤