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MX61A大尺寸智能型全自動顯微鏡詳細(xì)介紹：

始終提供*觀察影像的光學(xué)系統(tǒng)
強(qiáng)大的缺陷檢查能力

采用了新穎的光學(xué)系統(tǒng)（UIS2），特別增強(qiáng)了明視場、暗視場的性能，從而提高了辨別和確認(rèn)缺陷的能力。明視場圖像的色溫*化，實現(xiàn)了容易誤檢的中性顏色的再現(xiàn)，暗視場圖像的亮度約提高了四倍（與本公司原有產(chǎn)品比較）。
觀察影像實例

明視場觀察

新暗視場觀察

傳統(tǒng)的暗視場觀察

自動調(diào)節(jié)*亮度

亮度光圈調(diào)節(jié)示意圖

物鏡選擇和觀察方法切換連動，自動地調(diào)節(jié)亮度光圈。提高了觀察速度并減輕疲勞。

對應(yīng)各種設(shè)備的實時AF

深紫外線觀察用物鏡

MX61A裝載了在對焦精度、對焦速度上性能*的動態(tài)AF。新開發(fā)的多點方式的傳感器的采用，大幅度的提高了對焦時的穩(wěn)定性。在可視、深紫外線的反射光觀察中，實現(xiàn)了追蹤觀察位置的實時對焦。

對應(yīng)多種觀察方法

物鏡UIS2系列產(chǎn)品

在深紫外線到可視、近紅外線觀察中發(fā)揮高性能的UIS2物鏡系列產(chǎn)品，與各種觀察單元組合，可以在一臺顯微鏡上進(jìn)行明視場、暗視場、微分干涉、熒光、近紅外線、深紫外線等觀察。 觀察方法的切換非常簡單，只要從明視場、暗視場、選件鏡子單元三個位置選擇就可以。

觀察影像實例

明視場觀察	暗視場觀察	微分干涉觀察
熒光觀察	近紅外線觀察（左）和可見 光線觀察（右）的比較

提供擴(kuò)展性的解決方案 提供擴(kuò)展性的解決方案

適應(yīng)分析需求的Analysis-Engine（分 析引擎）模塊

MX61A大尺寸智能型全自動顯微鏡"顯微鏡控制軟件"作為核心對MX61A系統(tǒng)全體進(jìn)行控制。這個應(yīng)用靈活的軟件不僅能控制顯微鏡，還能控制數(shù)碼照相機(jī)、電動載物臺等外圍設(shè)備。一直以來，必需進(jìn)行若干個操作才能實現(xiàn)的高級觀察方法、深紫外線觀察等的切換，只要一次點擊就能順利完成。該軟件進(jìn)一步拓展了MX61A的擴(kuò)張性，滿足了不斷變化的分析需求。

顯微鏡控制軟件　MX2-BSW

顯微鏡控制軟件顯示畫面

顯微鏡控制軟件MX2-BSW不僅能進(jìn)行各種顯微鏡控制和AF，還能綜合控制深紫外線觀察單元和電動載物臺*1等。對于數(shù)碼照相機(jī)*2，能夠控制它的觀察和記錄。觀看實況影像時單擊需觀察的地方，快速移動到視場中心、實況計量和檢測、影像記錄等一系列作業(yè)就能容易的得以實現(xiàn)。 *1對應(yīng)本公司*的電動載物臺 *2對應(yīng)奧林巴斯DP21或本公司*的IEEE1394數(shù)碼照相機(jī)

實現(xiàn)對人和環(huán)境都沒有危害的自動化
符合SEMI　S2/S8標(biāo)準(zhǔn)

符合SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）S2-0706（有關(guān)安全的基準(zhǔn)），S8-0705（有關(guān)人體工程學(xué)的基準(zhǔn)）和CE標(biāo)識（歐洲強(qiáng)制性認(rèn)證）等的標(biāo)準(zhǔn)。符合人體工程學(xué)和安全對策等，高水準(zhǔn)的確保了可靠性。
可選的傾斜觀察筒

傾斜觀察筒示意圖

備有2種能以舒適姿勢觀察的傾斜鏡筒?？梢愿鶕?jù)用途選擇雙目部傾斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的MX-SWETTR型號，或是目視和拍攝影像可同時觀察的U-SWETTR-5型號。

潔凈對應(yīng)的電動物鏡轉(zhuǎn)換器

潔凈對應(yīng)的電動物鏡轉(zhuǎn)換器

備有兩種堅固耐用的潔凈型電動物鏡轉(zhuǎn)換器。 6孔和5孔中心補(bǔ)正型號的明暗視場電動物鏡轉(zhuǎn)換器，采用了新型馬達(dá)，實現(xiàn)了高速安靜的倍率轉(zhuǎn)換。

高抗振本體

高倍率觀察圖像示意圖

采用了不易受振動影響的高度剛性儀器機(jī)架。即便是高倍率觀察，也不會出現(xiàn)影像模糊的情況。

可以觸摸屏操作的手控開關(guān)

手控開關(guān)操作部

配備了觸摸屏操作的手控開關(guān)，可以在檢查時執(zhí)行選擇物鏡和觀察方法等多種操作。只要選擇觀察方法，就能得到基于登錄條件的zui合適的觀察影像。自動對焦的追蹤、單次拍攝的切換、對焦的細(xì)微調(diào)節(jié)、DIC延遲調(diào)節(jié)、亮度調(diào)節(jié)和交換樣本時的載物臺退出均可以執(zhí)行。

幫助實現(xiàn)多種觀察的附件 晶圓搬送機(jī)組合

晶圓搬送機(jī)

可以對應(yīng)直徑200 mm及以下的晶圓。新型搬送手臂的采用，實現(xiàn)了對90 μm極薄晶圓的搬送，能滿足多種尺寸晶圓搬送的需求。

自動載物臺組合

自動載物臺

備有對應(yīng)300mm/200mm晶圓的高精度電動載物臺。通過PC控制，可以實現(xiàn)高級檢查、不良分析功能。