雙光共聚焦顯微鏡
多功能高性能 OPTELICS HYBRID+

白光共聚焦+激光共聚焦，雙光學(xué)系搭載，兼具兩者優(yōu)勢(shì)

集6項(xiàng)功能于一體

日本Lasertec白光共聚焦顯微鏡以雙共聚焦光學(xué)系為基礎(chǔ)，搭載微分干涉觀察，垂直白光干涉測(cè)定，相差干涉測(cè)定，反射分光膜厚測(cè)定等功能，通常多臺(tái)設(shè)備才能完成的測(cè)試，僅需一臺(tái)設(shè)備即可實(shí)現(xiàn)。

共聚焦光學(xué)系統(tǒng)

樣品表面的反射光通過遮光板上的細(xì)孔到達(dá)檢出器的光學(xué)系。

點(diǎn)光源的照射光到達(dá)樣品并聚焦時(shí)，其反射光也正好在細(xì)孔位

置聚焦，這種設(shè)計(jì)因此稱為“共聚焦光學(xué)系統(tǒng)“。樣品表面的聚

焦處，其反射光經(jīng)細(xì)孔到達(dá)檢出器；未聚焦處的反射光絕大部

分被遮光板擋住，無法被檢出。這種僅聚焦處的反射光被檢出

的共聚焦光學(xué)系，被HYBRID+以及通常的激光顯微鏡所采用。

白光共聚焦顯微鏡規(guī)格參數(shù)：