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Horiba質(zhì)量流量計(jì) D500

· 壓力不敏感性能

高性能壓力補(bǔ)償新功能簡(jiǎn)化了供氣系統(tǒng)

· 多量程、多氣體、多壓力解決方案

新功能允許用戶(hù)改變氣體類(lèi)型、滿(mǎn)量程流量和供壓范圍

· G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律校驗(yàn)）自診斷功能

先進(jìn)的工藝健康監(jiān)控功能允許操作人員自行進(jìn)行測(cè)試，即使提高通過(guò)量，通常也能在三秒或更短的時(shí)間內(nèi)完成測(cè)試。

· 高精度

先進(jìn)的三維調(diào)整功能提高了工藝氣的流量精度

· 快速響應(yīng)

響應(yīng)時(shí)間：< 0.8 秒

可實(shí)現(xiàn)精確、穩(wěn)定的流量控制

· 動(dòng)態(tài)范圍

控制范圍廣：0.2% 滿(mǎn)量程 至 100% 滿(mǎn)量程

Horiba質(zhì)量流量計(jì) D500

質(zhì)量流量控制器： 質(zhì)量流量控制器是一種可直接測(cè)量氣體的質(zhì) 量流量并進(jìn)行流量控制的設(shè)備。

不因環(huán)境溫 度和使用壓力等條件的變化而改變，可實(shí)現(xiàn) 高精度且穩(wěn)定的流量控制，應(yīng)用于各種工業(yè) 領(lǐng)域。

HORIBA 集團(tuán)向遍布全球各地的用戶(hù)大量提供具有先進(jìn)水平的分析儀器系統(tǒng)及系列產(chǎn)品。

應(yīng)用范圍從汽車(chē) 發(fā)動(dòng)機(jī)尾氣排放檢測(cè)的研發(fā)到過(guò)程及環(huán)境監(jiān)測(cè)，體外醫(yī)療檢測(cè)，半導(dǎo)體制造和計(jì)量，涉及范圍從科技研發(fā)到質(zhì) 量控制測(cè)量。

實(shí)踐證明，質(zhì)量和值得信賴(lài)的性能贏得廣大用戶(hù)對(duì) HORIBA 集團(tuán)品牌的信任。 半導(dǎo)體事業(yè)部以尖銳的目光關(guān)注著半導(dǎo)體、FPD、LED、太陽(yáng)能、光纖等細(xì)微世界的發(fā)展。

由研發(fā)專(zhuān)家展開(kāi)研究與開(kāi)發(fā)以支持半導(dǎo)體制程工藝中對(duì)不同流體控制技術(shù)的需求。

為滿(mǎn)足不同市場(chǎng)、不同 工藝需求，半導(dǎo)體事業(yè)部亦能提供切合客戶(hù)需求的不同產(chǎn)品以實(shí)現(xiàn)匹配工藝需求。