Horiba直接注入式汽化器VC-1420

直接液體注入系統(tǒng)

在半導(dǎo)體測(cè)試工藝過(guò)程中控制氣體比例和濕度平衡相當(dāng)困難，可以通過(guò)以下產(chǎn)品達(dá)到準(zhǔn)確的氣體平衡和氣體濕度：氣體 MFC（SEC-Z512MGX、N112MGX、）、液體 MFM（LF-F20M-A）、汽化器（MV-2000）。

Horiba直接注入式汽化器VC-1420能夠在無(wú)載氣的情況下快速汽化純水或其他液體源，組建更緊湊的汽化系統(tǒng)。

HORIBA 可為您提供由 Horiba直接注入式汽化器VC-1420和您需要的所有其他組件組成的定制汽化系統(tǒng)：

· 一種用于流量測(cè)量的液體質(zhì)量流量計(jì)

· 一種用于蒸氣流量測(cè)量的高溫質(zhì)量流量控制器

· 閥門、過(guò)濾器、加熱器等

特征

· 尺寸緊湊

· 可安裝在各種位置

· 暢銷的 TEOS 汽化系統(tǒng)

· 結(jié)合 SEF 或 LF，可實(shí)現(xiàn)數(shù)字控制

· 無(wú)需特殊鼓泡罐或汽化罐

· DeviceNetTM 型產(chǎn)品系列

· 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

技術(shù)參數(shù)

外形尺寸圖

HORIBA 是高性能汽化系統(tǒng)的供應(yīng)商之一。HORIBA 液體源汽化器貫穿整個(gè)半導(dǎo)體制程，可以安全有效地將液相化學(xué)品以氣相形態(tài)輸送至使用點(diǎn)。無(wú)論液態(tài)化學(xué)品是需要在真空下還是大氣壓下汽化，HORIBA 的汽化技術(shù)都能提供符合要求的汽化系統(tǒng)。包括：汽化器VC系列、汽化器MV系列、汽化器VE系列。

暢銷型號(hào)：VC-1420、MV-1000、MV-2000、VE-10、VE-30.