4200A-SCS-PK3參數(shù)分析儀半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)是一種可以量身定制、全面集成 的參數(shù)分析儀，可以同步查看電流電壓（I-V）、電容電壓（C-V） 和超快速脈沖式I-V 特性。作為性能高的參數(shù)分析儀， 4200A-SCS 加快了半導(dǎo)體、材料和工藝開(kāi)發(fā)速度。

4200A-SCS-PK3參數(shù)分析儀半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)主要性能指標(biāo)

I-V 源測(cè)量單元(SMU)

• ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊
• 100 fA測(cè)量分辨率
• 選配前端放大器提供了 10 aA測(cè)量分辨率
• 10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測(cè)量
• 四象限操作
• 2 線或 4 線連接

C-V 多頻率電容單元(CVU)

• AC 阻抗測(cè)量 (C-V, C-f, C-t)
• 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍
• ± 30 V (60 V差分)內(nèi)置DC偏置源，可以擴(kuò)展到± 210 V(420 V 差分)
• 選配 CVIV 多通道開(kāi)關(guān)，在 I-V 測(cè)量和 C-V 測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測(cè)量單元(PMU)
• 兩個(gè)獨(dú)立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測(cè)量通道
• 200 MSa/s，5 ns 采樣率
• ±40 V (80 V p-p)，±800 mA
• 瞬態(tài)波形捕獲模式
• 任意波形發(fā)生器 Segment ARB® 模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率

2450 是 1 1A 200V 10fA/10nV 20 W - US $5,930

2400 否 1 1A 200V 1pA / 100nV 20 W - US $5,990

2460 是 1 7A 100V 1pA / 100nV 100 W - US $8,970

2420 否 1 3A 60V 10pA / 100nV 60 W - US $9,440

2410 否 1 1A 1100V 1pA / 100nV 20 W - US $9,820

2461 是 1 10A 100V 1pA / 100nV 1000W - US $10,200

2440 No 1 5A 40V 10pA / 100nV 50 W - US $11,200

2601B 1 10A 40V 100fA / 100nV 200 W - US $8,310 US $4,510

2611B 1 10A 200V 100fA / 100nV 200 W - US $8,310 US $5,930

2604B 2 10A 40V 100fA / 100nV 200 W - US $10,500 US $5,990

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