EVG 850   Automated Production Bonding System for SOI

EVG 850   SOI的自動化生產鍵合系統(tǒng)

自動化生產鍵合系統(tǒng)，適用于多種融合/分子晶圓鍵合應用

技術數據

SOI晶片是微電子行業(yè)有望生產出更快，性能更高的微電子設備的有希望的新基礎材料。晶圓鍵合技術是SOI晶圓制造工藝的一項關鍵技術，可在絕緣基板上實現高質量的單晶硅膜。借助EVG850 SOI生產粘合系統(tǒng)，SOI粘合的所有基本步驟-從清潔和對準到預粘合和紅外檢查-都結合了起來。因此，EVG850確保了高達300 mm尺寸的無空隙SOI晶片的高產量生產工藝。 EVG850是在高通量，高產量環(huán)境下運行的生產系統(tǒng)，已被確立為SOI晶圓市場的行業(yè)標準。

特征

生產系統(tǒng)可在高通量，高產量環(huán)境中運行；     自動盒帶間或FOUP到FOUP操作

無污染的背面處理；                         超音速和/或刷子清潔

機械平整或缺口對齊的預粘合；               先進的遠程診斷

技術數據

晶圓直徑（基板尺寸）：100-200、150-300毫米

全自動盒帶到盒帶操作

預粘接室

對齊類型：平面到平面或凹口到凹口

對準精度：X和Y：±50 µm，θ：±0.1°

結合力：zui高5 N

鍵合波起始位置：從晶圓邊緣到中心靈活

真空系統(tǒng)：9x10-2 mbar（標準）和9x10-3 mbar（渦輪泵選件）

清潔站

清潔方式：沖洗（標準），超音速噴嘴，超音速面積傳感器，噴嘴，刷子（可選）

腔室：由PP或PFA制成（可選）