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北京亞科晨旭科技有限公司
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當前位置:北京亞科晨旭科技有限公司>>化合物半導(dǎo)體-工藝設(shè)備>> NEO系列TRYMAX 等離子除膠機

TRYMAX 等離子除膠機

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號NEO系列

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地北京市

更新時間:2024-09-25 13:19:07瀏覽次數(shù):2195次

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TRYMAX 等離子除膠機目前擁有半自動、全自動系列設(shè)備供用戶選擇,目前已有上百臺設(shè)備安裝在世界各地,被廣泛地應(yīng)用于MEMS微機電系統(tǒng)、微流體器件、SOI基片制造、良好封裝、化合物半導(dǎo)體器件、功率器件和光電顯示等領(lǐng)域。

TRYMAX 等離子除膠機介紹

亞科電子的合作伙伴Trymax公司于2003年在荷蘭成立,該公司主要提供半導(dǎo)體等離子清洗、去膠、活化設(shè)備。

Trymax目前擁有半自動、全自動系列設(shè)備供用戶選擇,目前已有上百臺設(shè)備安裝在世界各地,被廣泛地應(yīng)用于MEMS微機電系統(tǒng)、微流體器件、SOI基片制造、良好封裝、化合物半導(dǎo)體器件、功率器件和光電顯示等領(lǐng)域。

一、設(shè)備工作原理

等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),該狀態(tài)中存在下列物質(zhì):處于高速運動狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子;未反應(yīng)的分子、原子等,但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。

Trymax NEO Series就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,通過射頻/微波電源在一定的真空條件下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體,通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面,從而實現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。

二、Trymax NEO Series 應(yīng)用

前道:Light Etching;Descum strip;PR Ashing;離子注入后,光刻后,鍍膜前等工藝過程; 后道/良好封裝/3D IC:Descum Bumping;MEMS。


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