DENTON桌面型磁控濺射臺-Desktop Pro

美國丹頓真空設備有限公司是世界真空鍍膜設備制造商，成立于1964年。丹頓是美國簽約的設備供應商，為美國jun品研發(fā)和制造提供真空鍍膜設備。作為美國老牌“軍工”企業(yè)，丹頓真空以設備的實用性和可靠性見長。目前，丹頓真空已為客戶設計制造了總數(shù)超過5千臺的各種規(guī)格的電阻/電子束蒸發(fā)、磁控濺射、離子束濺射/刻蝕和等離子體化學氣相沉積鍍膜系統(tǒng)，產品廣泛應用于科研開發(fā)、小規(guī)模制造和工業(yè)生產等領域。

Desktop Pro提供了一種高性能，小巧，實惠的磁控濺射系統(tǒng)。

設備優(yōu)點：

• 節(jié)省空間：Desktop Pro只需要不到36英寸的空間（0.9m）
• 節(jié)省費用：一個電源可以驅動兩個靶槍
• 均勻性好：傾斜的靶槍和旋轉工件盤使得在整個工件盤上達到5%的鍍膜均勻性
• 抽真空速度快：抽速65lps的渦輪分子泵，保證系統(tǒng)優(yōu)秀的抽真空性能和對反應氣體的負載能力
• 可操作性：強大的控制系統(tǒng)基于PLC的觸摸屏控制系統(tǒng)提供下列操作模式：維修模式，手動操作模式和半自動操作模式
• 安全設計：互鎖保護避免不適當操作對人員和設備的損害

技術特點：

• 標準配置兩個直徑2英寸的濺射靶材
• 可以處理大直徑為4英寸的工件
• 直流濺射，射頻濺射
• 共濺射
• 工藝氣體
• 觸摸屏控制