TESCAN  聚焦離子束-掃描電鏡是一款由計算機*控制的Xe等離子聚焦離子束（i-FIB）場發(fā)射掃描電子顯微鏡，可選配氣體注入系統(tǒng) (GIS)，可在高真空和低真空模式下工作，其具有突出的光學性能、清晰的數字化圖像、成熟和用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等特點。基于Windows™平臺的操作軟件提供了簡單的電鏡操作和圖像采集，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現了電鏡的自動設置和許多其它自動操作。

TESCAN  聚焦離子束-掃描電鏡概述

軟件標配：
測量
圖象處理
3維掃描
硬度測量
多圖像校準
對象區(qū)域
自動關機時間
公差
編程軟件
定位
投影面積
EasySEMTM

選配：根據實際配置和需求

• 技術規(guī)格

• 配件二次電子探頭

• 背散射電子探頭

• In-Beam SE

• In-Beam BSE

• 探針電流測量

• 壓差式防碰撞報警裝置

• 可觀察樣品室內部的紅外線攝像頭

• TOP-SIMS

• 二次離子探頭

• 等，各種配件可供選擇

• 圖片

• 其他

分析潛力

• 高亮度肖特基發(fā)射可獲得高分辨率、高電流和低噪聲的圖像

• 選配的In-Beam二次電子探頭可獲取超高分辨率圖像

• 三透鏡大視野觀察（Wide Field Optics™）設計提供了多種工作模式和顯示模式，體現了TESCAN*可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設計

• 結合了完善的電子光學設計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™）可模擬和進行束斑優(yōu)化

• 成像速度快

• 低電壓下的電子束減速模式（Beam Deceleration Technology – BDT）可獲取高分辨率圖像 （選配）

• In-Beam背散射電子探頭，用于在小工作距離下得BSE圖像（選配），甚至適合鐵磁性樣品

• 全計算機化優(yōu)中心電動載臺設計優(yōu)化了樣品操控

• *的幾何設計更適合安裝能譜儀（EDX）、波譜儀（WDX）、背散射電子衍射儀（EBSD）

• 由于使用了強力的渦淪分子泵和干式前置真空泵， 因而可以很快達到電鏡的工作真空，電子槍的真空由離子泵維持

• 自動的電子光路設置和合軸

• 網絡操作和內置的遠程控制/診斷軟件

• 3維電子束技術提供實時立體圖像

• 在低真空模式下樣品室真空可達到500Pa 用于觀測不導電樣品

• *的離子差異泵（2個離子泵）使得離子散射效應超低

• 聚焦離子束鏡筒內有馬達驅動高重復性光闌轉換器

• 聚焦離子束的標配包括了電子束遮沒裝置和法拉第筒

• 高束流下超高的銑削速度和的性能

• FIB切割、信號采集、3維重構（斷層攝影術），3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化

• 成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件，圖像采集、存檔、處理和分析功能