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真空等離子體清洗機(jī),等離子體處理系統(tǒng)
SPV真空等離子體清洗機(jī),用于批量處理的超大腔體等離子體處理系統(tǒng),真空等離子清洗機(jī)通過(guò)廣泛的研究和開(kāi)發(fā),提供*的真空和氣體流動(dòng)技術(shù).
真空等離子體清洗機(jī)：使用脈沖RF來(lái)增強(qiáng)等離子體聚合膜的性能，是原型，先導(dǎo)或生產(chǎn)加工基材的理想選擇。可靠性和工藝質(zhì)量與達(dá)因旆*的擱架設(shè)計(jì)和等離子體中發(fā)現(xiàn)的反應(yīng)離子的優(yōu)化應(yīng)用相結(jié)合，提高了處理均勻性，同時(shí)縮短了處理時(shí)間。用于處理所有類型零件和部件的成本和空間有效的真空等離子體處理機(jī)。等離子體室由11號(hào)不銹鋼和鋁制固定裝置構(gòu)成，具有出色的耐用性。該腔室具有多個(gè)可拆卸和可調(diào)節(jié)的架子，可容納一系列部件，可容納多達(dá)14個(gè)電極位置。PD-1000標(biāo)配配備兩個(gè)質(zhì)量流量控制器，用于*氣體控制。
SPV真空等離子體清洗機(jī)：是一種有效的等離子體處理系統(tǒng)，具有用于批量處理的超大腔體。它使用脈沖40KHz射頻發(fā)生器來(lái)增強(qiáng)等離子體聚合膜的性能。是一種經(jīng)濟(jì)的真空等離子處理機(jī)，用于處理清洗各種零部件。泵，腔室，控制電子器件和RF發(fā)生器都包含在其外殼內(nèi)。 SPV等離子清洗機(jī)系統(tǒng)提供滑出水平貨架，便于裝卸。其緊湊，服務(wù)友好的設(shè)計(jì)占地面積小，專為從系統(tǒng)前后的維護(hù)而設(shè)計(jì)。因此，多個(gè)真空等離子體處理系統(tǒng)可以并排放置，以zui大化占地面積利用率。泵定位在輥?zhàn)由?，便于拆卸。控制系統(tǒng)可以在多個(gè)級(jí)別進(jìn)行密碼保護(hù)，以防止未經(jīng)授權(quán)的配方修改。這確保系統(tǒng)從*批到zui后一次的性能一致。等離子體處理系統(tǒng)結(jié)合了系統(tǒng)的可靠性和工藝質(zhì)量。等離子體室容納多達(dá)14個(gè)電極工作架，并且能夠?qū)崿F(xiàn)比常規(guī)真空等離子更多的體積和更大的襯底處理。配有四個(gè)質(zhì)量流量控制器，用于*氣體控制。
等離子體處理系統(tǒng)：大型等離子體處理腔來(lái)處理大基板或許多較小的基板。使用單步過(guò)程提供業(yè)界的等離子體均勻性。是一個(gè)獨(dú)立的系統(tǒng)，具有節(jié)省空間的緊湊型機(jī)箱，具有易于訪問(wèn)的前負(fù)載門，并且容納真空系統(tǒng)，等離子體室，控制電子設(shè)備和13.56MHz電源。快速真空泵下降并大大提高了工藝循環(huán)時(shí)間，進(jìn)一步增加了系統(tǒng)的吞吐量和生產(chǎn)率。PD-Pro系統(tǒng)標(biāo)配配備四個(gè)質(zhì)量流量控制器，用于*氣體控制和zui多13個(gè)垂直基板處理單元。
通過(guò)廣泛的研究和開(kāi)發(fā)，提供*的真空和氣體流動(dòng)技術(shù)，新的電極設(shè)計(jì)和的溫度管理。這些關(guān)鍵設(shè)計(jì)元素和工藝配方參數(shù)的仔細(xì)平衡提供了一種系統(tǒng)，可為關(guān)鍵應(yīng)用程序創(chuàng)建zui統(tǒng)一的處理。
在PCB制造過(guò)程中為大型柔性或剛性面板的回蝕，去污和表面活化提供出色的等離子體處理均勻性，等離子體處理均勻性是HDI，柔性和剛性電路板制造的解密和回蝕應(yīng)用中的關(guān)鍵操作要求。等離子體可以提供比化學(xué)或機(jī)械過(guò)程更高的均勻性和再現(xiàn)性。SPA系列等離子體處理系統(tǒng)采用等離子體技術(shù)，在高通量下產(chǎn)生優(yōu)異的均勻性。
用于大面積真空等離子體清洗機(jī)的SPV系列可提供各種室尺寸，可選擇垂直或水平面板配置。定制配置可用于大型和厚板面板要求。行業(yè)驗(yàn)證的等離子體技術(shù)在層壓之前提供優(yōu)異的表面處理均勻性，以提高粘附性和可靠性。的設(shè)計(jì)，經(jīng)濟(jì)的天然氣消耗，占地面積小以及有吸引力的系統(tǒng)定價(jià)都有助于降低擁有成本。容易裝載和多功能機(jī)架允許zui大的吞吐量，單級(jí)等離子體處理和容量選項(xiàng)，可為廣泛的PCB制造要求提供出色的產(chǎn)量。
