CVI Laser Optics憑借在研究、開發(fā)和制造工藝方面50多年的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，可以為客戶提供專業(yè)的知識(shí)、深厚的能力和廣泛的制造資源。其中，CVI有一款高性能、高損傷閾值和高可靠性的反射鏡(CVI Mirrors)，CVI反射鏡用于光束路由、對(duì)準(zhǔn)和采樣。

CVI激光光學(xué)公司對(duì)激光反射鏡的性能要求：低散射、出色的表面形狀、高損傷閾值和高可靠性。CVI Laser Optics擁有適用于各種典型激光應(yīng)用的反射鏡，包含在平面和曲面基底上鍍膜的部分反射鏡和高反反射鏡，可用于單波長、雙波長或?qū)拵РㄩL。另外，CVI Laser Optics的鍍膜技術(shù)能力出色，波長范圍從190nm到2100nm，包括電子束介質(zhì)、高級(jí)等離子源、高密度鋁、銀和金鏡面鍍膜等，當(dāng)然，出色的193nm/248nm反射鏡也是少不了的。CVI Laser Optics 193nm反射鏡 248nm反射片

CVI Laser Optics經(jīng)常與OEM客戶合作，專門為用戶的系統(tǒng)制造反射鏡，形狀、尺寸、基底材料和曲率半徑均可定制，CVI Laser Optics任何一種堅(jiān)固耐用的高性能標(biāo)準(zhǔn)涂層都可以應(yīng)用于用戶所選擇的波長和入射角，或者可以設(shè)計(jì)一種涂層來滿足用戶的需求，CVI反射鏡在1064nm能夠承受高達(dá)40J/cm2的脈沖功率。CVI Laser Optics擁有用于半導(dǎo)體應(yīng)用的專業(yè)真空鋁鍍膜技術(shù)，以40多年設(shè)計(jì)和制造激光光學(xué)元件的經(jīng)驗(yàn)，可以為用戶制造出合適的反射鏡。

CVI反射鏡的規(guī)格性能Capabilities：

CVI反射鏡制造能力**：

** 注：上述一般公差規(guī)范旨在指導(dǎo)根據(jù)相對(duì)成本和可制造性確定適當(dāng)?shù)墓睿唧w零件的公差因尺寸、材料、形狀和長寬比的不同而異，可能會(huì)有更嚴(yán)格的公差。所有規(guī)格不一定都是單一的，但可能需要進(jìn)行權(quán)衡，以滿足成本和性能的理想組合，詳情，請(qǐng)聯(lián)我們。

準(zhǔn)分子激光反射鏡：ARF系列(193反射鏡)和KRF系列(248反射鏡)

CVI提供種類繁多的高質(zhì)量準(zhǔn)分子248nm/193nm激光反射鏡，專門設(shè)計(jì)用于高能準(zhǔn)分子激光應(yīng)用，其中，準(zhǔn)分子反射鏡擁有的涂層性能一直優(yōu)于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，可為客戶提供適用于激光環(huán)境的光學(xué)反射鏡。CVI Laser Optics 193nm反射鏡 248nm反射片

248nm/193nm激光反射鏡規(guī)格參數(shù)：

產(chǎn)品編號(hào)：ARF, KRF

基底材料：標(biāo)準(zhǔn)康寧7980 1-D（熔融石英）

直徑公差：+0/-0.25mm

厚度公差：±0.25mm

楔形Wedge: ≤5 arc minutes

倒角Chamfer:

?≤50.8mm: 45°時(shí)，腳管寬度為0.35mm

?>50.8mm: 45°時(shí)，腳管寬度為0.85mm

S1面：<λ/10 p-v，波長633nm (鍍膜前) ；在特定基底上鍍膜后

S1表面質(zhì)量：根據(jù)MIL-PRF 13830b標(biāo)準(zhǔn)，10-5劃痕-挖掘(100W時(shí))

S2表面質(zhì)量：商業(yè)拋光

孔徑：≥中心直徑的85%

附著力和耐久性：符合MIL-C-48497a標(biāo)準(zhǔn)

入射角度：45°

反射率（193nm）：45°，UNP時(shí)R≥96.0%

反射率（248nm）：45°，UNP時(shí)R>99.0%

損傷閾值： 

1J/cm2，脈沖20ns，波長193nm

3J/cm2，脈沖8ns，波長248nm

248nm/193nm激光反射鏡命名規(guī)則：

請(qǐng)選擇以下選項(xiàng)：