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腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀

參   考   價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號:HPR-80

品       牌:其他品牌

廠商性質(zhì):代理商

產(chǎn)品資料:查看pdf文檔

所  在  地:國外

更新時(shí)間:2023-11-22 10:13:43瀏覽次數(shù):6117

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 100萬-150萬
檢測限 5ppb 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子,冶金,航天,電氣
質(zhì)量數(shù)范圍 510amu 最小檢測分壓 5E-14 mbar
腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀HPR-80( Reactive/Corrosive Species Analyzer)是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導(dǎo)體、真空過程研究而設(shè)計(jì)的儀器,快速、定量分析活潑性、腐蝕性氣體,如反應(yīng)中間產(chǎn)物,HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等強(qiáng)腐蝕性與半導(dǎo)體工藝氣體。

20年前,Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學(xué)雜志發(fā)布了HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀,初期主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的特氣檢測,如毒性氣體AsH3、B2H6、PH3等,強(qiáng)腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF3等,強(qiáng)氧化性氣體如CIF3、NF3等。

20年來,Hiden在這一細(xì)分領(lǐng)域具有強(qiáng)大的產(chǎn)品力,針對不同程度的腐蝕氣體分析,提供不同的解決方案。

HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體,HF,HCl,HBr和鹵代烴氣體工藝產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物。

主要特點(diǎn):

1、連接件電拋光工藝處理

2、取樣壓力:1mTorr to 1000Torr

3、高靈敏度三級過濾四極桿

4、檢測限可達(dá) 5 ppb

5、QGA專業(yè)版定量分析軟件

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