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郭（同）

RTS-4型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
 儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。

RTS-4型四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶(hù)程序，通過(guò)此測(cè)試程序輔助使用戶(hù)簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
    測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來(lái)。用戶(hù)可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶(hù)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

RTS-4型數(shù)字式四探針測(cè)試儀技術(shù)指標(biāo) ：.

測(cè)量范圍                      

電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展)；  
方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展)；
電導(dǎo)率：0.005～1000 s/cm；
電阻：0.0001～2000Ω；

可測(cè)晶片直徑      

 140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái))；
 200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái))；
 400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái))；

恒流源：電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表：量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)    間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)    (見(jiàn)探頭附帶的合格證)

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)    0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差       (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%

整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度        ≤5%

計(jì)算機(jī)通訊接口           并口

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境               溫度：23±2℃；
 相對(duì)濕度：≤65%；
 無(wú)高頻干擾；
 無(wú)強(qiáng)光直射；

相關(guān)產(chǎn)品關(guān)鍵字：RTS-4四探針測(cè)試儀、RTS-5四探針測(cè)試儀、RTS-9雙電測(cè)四探針測(cè)試儀、RTS-8四探針測(cè)試儀、RTS-3四探針測(cè)試儀、RTS-2四探針測(cè)試儀、SB100A/2四探針導(dǎo)體/半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀、ST-21 方塊電阻測(cè)試儀、CV-2000 型電容電壓特性測(cè)試儀、PN-30 導(dǎo)電類(lèi)型鑒別儀、PN-12 導(dǎo)電類(lèi)型鑒別儀、LT-2 單晶少子壽命測(cè)試儀、LT-3 單晶少子壽命測(cè)試儀