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目錄:愛發(fā)科費(fèi)恩斯（南京）儀器有限公司>>質(zhì)譜儀>>二次離子質(zhì)譜儀>> PHI ADEPT 1010動態(tài)二次離子質(zhì)譜儀

動態(tài)二次離子質(zhì)譜儀
  • 動態(tài)二次離子質(zhì)譜儀
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 PHI ADEPT 1010
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 北京市
屬性

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更新時(shí)間：2022-03-07 17:24:34瀏覽次數(shù)：2245評價(jià)

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動態(tài)二次離子質(zhì)譜儀（D-SIMS）是使用一次離子束（通常是Cs源）轟擊樣品表面，而產(chǎn)生二次離子，然后用質(zhì)譜分析儀分析二次離子的質(zhì)荷比（m/q），從而得知元素在樣品中的深度分布，是分析半導(dǎo)體摻雜和離子注入的強(qiáng)有力的工具。

優(yōu)勢

ULVAC-PHI 最新設(shè)計(jì)的四極桿-二次離子質(zhì)譜儀ADPT1010，在原有的PHI6300和PHI6600的基礎(chǔ)上，改善了離子光學(xué)系統(tǒng)，是在一次離子能量低至250eV時(shí)，仍保持有效的濺射束流的動態(tài)二次離子質(zhì)譜系統(tǒng)（D-SIMS）。

 

特點(diǎn)

  1. 大束流低能量離子槍設(shè)計(jì)，極大的提高了深度分辨率

  2. 高性能離子光學(xué)系統(tǒng)，改善了二次離子傳輸效率，在提高分析效率的同時(shí)又提高了檢測靈敏度

  3. 高精度全自動5軸樣品操控臺

  4. 不同方向進(jìn)入檢測器的二次離子，均可被高靈敏地收集檢測

 

應(yīng)用實(shí)例分析

采用一次離子源Cs在加速5kV束流為100nA的條件下，分析GaAs中注入的H，C，O元素。可以看到H檢測限值7.1X1016 atm/cm3，O檢測限值4.4X1015 atm/cm3，C檢測限值2.0X1015 atm/cm3。

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