SYPT-2平行平晶(計量建標(biāo)專用檢測千分尺)是以光波干涉原理為基礎(chǔ),利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測量被測量面的誤差程度。平行平晶用用于干涉法測量檢定千分尺、杠桿千分尺、杠桿卡規(guī)和千分尺卡規(guī)等量具測量面的平面度和兩相對測量的平行度。適用于光學(xué)加工廠、廠礦企業(yè)計量室、精密加工車間、閥門密封面現(xiàn)場檢測使用,也適用于高等院校、科學(xué)研究等單位做平面度等檢測。
SYPT-2平行平晶(千分尺計量建標(biāo)專用)
一.產(chǎn)品簡介:
SYPT-2平行平晶(檢測千分尺計量建標(biāo)專用)是以光波干涉原理為基礎(chǔ),利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測量被測量面的誤差程度。平行平晶用用于干涉法測量檢定千分尺、杠桿千分尺、杠桿卡規(guī)和千分尺卡規(guī)等量具測量面的平面度和兩相對測量的平行度。適用于光學(xué)加工廠、廠礦企業(yè)計量室、精密加工車間、閥門密封面現(xiàn)場檢測使用,也適用于高等院校、科學(xué)研究等單位做平面度等檢測。
二.功能特點:
1.具有高精度的平面性和平行性。
2.采用A級光學(xué)玻璃,穩(wěn)定性好,無色透明。
3.壽命長、不受環(huán)境溫度影響。
三.技術(shù)指標(biāo):
每組平行平晶共四塊,分四個尺寸系列組
測量面上平面度偏差: <0.1μm
平面度局部偏差: >0.03μm
測量面平行度誤差: 組Ⅰ系列允差值:0.06μm
組Ⅱ、Ⅲ系列允差值:0.08μm
組Ⅳ系列允差值:0.1μm
四.平行平晶規(guī)格分類:
平行平晶共分四個系列,每組四塊。
組Ⅰ | 平行平晶 | 0-25mm | 4塊/組 |
組Ⅱ | 平行平晶 | 25-50mm | 4塊/組 |
組Ⅲ | 平行平晶 | 50-75mm | 4塊/組 |
組Ⅳ | 平行平晶 | 75-100mm | 4塊/組 |
平行平晶尺寸系列表
組號 | 0-25 | 25-50 | 50-75 | 75-100 |
1 | 15.00,15.12 15.25,15.39 | 40.00,40.12 40.25,40.37 | 65.00,65.12 65.25,65.37 | 90.00,90.12 90.25,90.37 |
2 | 15.12,15.25 15.37,15.50 | 40.12,40.25 40.37,40.50 | 65.12,65.25 65.37,65.50 | 90.12,90.25 90.37,90.50 |
3 | 15.25,15.37 15.50,15.62 | 40.25,40.37 40.50,40.62 | 65.25,65.37 65.50,65.62 | 90.25,90.37 90.50,90.62 |
4 | 15.37,15.50 15.62,15.75 | 40.37,40.50 40.62,40.75 | 65.37,65.50 65.62,65.75 | 90.37,90.50 90.62,90.75 |
5 | 15.50,15.62 15.75,15.87 | 40.50,40.62 40.75,40.87 | 65.50,65.62 65.75,65.87 | 90.50,90.62 90.75,90.87 |
6 | 15.62,15.75 15.87,16.00 | 40.62,40.75 40.87,41.00 | 65.62,65.75 65.87,66.00 | 90.62,90.75 90.87,91.00 |
五.工作原理:
平晶是利用光波干涉現(xiàn)象測量平行度誤差的,故其測量方法稱為平晶干涉法(圖2),也稱技術(shù)光波干涉法。測量時,把平晶放在被測表面上,且與被測表面形成一個很小的楔角 θ,以單色光源照射時會產(chǎn)生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關(guān)。如入射光線垂直于被測表面,且平晶與被測表面間的間隙很小,則由平晶測量面P反射的光線與被測表面反射的光線在測量面 P發(fā)生干涉而出現(xiàn)明或暗的干涉條紋。若在白光下,則出現(xiàn)彩色干涉條紋。如干涉條紋平直,相互平行,且分布均勻,則表示被測表面的平面度很好;如干涉條紋彎曲,則表示平面度不好。其誤差值為f= (v/ω)×(λ/2)
λ為光波波長,白光的平均波長為0.58μm,ν為干涉帶彎曲量,ω為干涉帶間距。