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Z大速度：2毫米/秒
分辨率，典型：2納米
重復(fù)性，雙向：±20納米
重復(fù)性，單向：20納米
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
PPS-20是一個(gè)高精度，長行程線性壓電階段。
微型交叉滾子軸承保證高剛度和導(dǎo)向精度高達(dá)20 N（水平方向）的負(fù)載。
它采用正在申請的多相壓電馬達(dá)在高速（> 2毫米/秒）和阻滯力高（> 2 N）。
PPS-20可在開環(huán)或具有一個(gè)外部編碼器。
.閉環(huán)分辨率為2 nm是可以實(shí)現(xiàn)的。