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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,綜合 |
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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
1、此款多功能回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)設(shè)備提供一個雙溫區(qū)的溫場，兩個溫區(qū)可獨(dú)立控制。
2、保溫材料采用氧化鋁纖維防塵處理，爐膛可開啟。
3、加熱元件采用硅碳棒，最高使用溫度可以達(dá)到1400度，使用壽命長，溫場流場均勻。
4、采用觸摸屏和工控電腦自動控制，參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便，參數(shù)自動記錄保持。
5、設(shè)備集成化設(shè)計(jì)、以及集成化管理，美觀方便。
多功能回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)：由加熱系統(tǒng)、爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)，工控及操作系統(tǒng)等組成。
1、加熱系統(tǒng)：
該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導(dǎo)率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研溫，電力調(diào)制器控制；負(fù)載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù)，無須操作人單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，適合中低溫度加熱系統(tǒng)。
高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控員的干預(yù)，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號，同時系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報警保護(hù)功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求。
2、爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)：
爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào)，且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長時間運(yùn)行。管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻。
3、供氣系統(tǒng)：
供氣系統(tǒng)是一種可控制3種氣體按不同流量進(jìn)氣的裝置，浮子流量計(jì)安裝于密封的可移動機(jī)柜內(nèi)，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。
4、真空系統(tǒng)：
真空系統(tǒng)內(nèi)部安裝機(jī)械泵1臺，電阻真空計(jì)1套，并含有配套使用的波紋管，手動擋板閥，卡箍等連接部件。
加熱主體 | |
額定功率 | 10KW |
額定電壓 | AC 220V （L+N+PE）2P 63A空開 |
最高溫度 | 1400℃ |
持續(xù)工作溫度 | ≤1300℃ |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min |
加熱區(qū)數(shù)量 | 2區(qū)，獨(dú)立控溫 |
加熱區(qū)長度 | 300+300mm |
熱電偶 | S型熱電偶 |
控溫方式 | 人機(jī)界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，數(shù)字工控儀表雙控，采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實(shí)現(xiàn)雙控，采用模糊型PID控制 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 硅碳棒 |
腔體尺寸 | 中間外徑?100* 端頭外徑?60*長度1400mm |
管徑尺寸 | Φ60*1400mm |
爐膛保溫材料 | 氧化鋁纖維 |
表面溫度 | ≤60℃ |
金屬密封法蘭 | 磁流體密封法蘭 |
控制器 | 可編程控溫儀表，PID調(diào)節(jié)，升、降保溫全自動 |
無紙記錄 | 內(nèi)置存儲記錄運(yùn)行工藝數(shù)據(jù)，外接USB接口可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù) |
三路供氣系統(tǒng) | |
連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
流量計(jì)類型 | 浮子流量計(jì)（3個），量程可選 |
最大壓力 | 3MPa |
接口 | Φ6 |
內(nèi)外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 | Φ6卡套接頭 |
真空系統(tǒng) | |
空氣相對濕度 | ≤85% |
工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1千瓦 |
抽氣速率 | 10m3/h |
實(shí)驗(yàn)真空度 | 5.0X10-1Pa |
容油量 | 1.1L |
進(jìn)氣口口徑 | KF25 |
排氣口口徑 | KF25 |
轉(zhuǎn)速 | 1450rpm |
噪音 | 50dB |
真空計(jì) | |
配用規(guī)管 | ZJ-52T電阻規(guī) |
測量范圍 | 10 5 ～10 -1 Pa |
測量路數(shù) | 1路 |
控制范圍 | 5×10 3 ～5×10 -1 Pa |
控制方式 | 繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載 |
電源 | 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz |
功耗 | 20W |