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靈活的自動掃描系統(tǒng)

低成本桌面式壽命測量系統(tǒng)，用于手動操作表征不同制備階段的各種不同硅樣品?？蛇x的手動操作Z軸用于厚度多達(dá)156毫米的樣品。標(biāo)準(zhǔn)軟件可輸出可視化的測量結(jié)果。

MDPspot包括附加電阻率測量選項。只測量硅的電阻，對于沒有高度調(diào)節(jié)可能性的晶片，或者對于磚。這兩個選項中的一個是預(yù)先定義的。

優(yōu)勢

• 用于單點測量少子壽命的臺式裝置，可測量多晶或單晶硅在不同制備階段，從成長到后面器件。
  

• 體積小，成本低，使用方便。附帶一個基本軟件，用于在小型電腦或筆記本上輸出可視化的測量結(jié)果。
  

• 適用于晶片上的磚，易于進(jìn)行高度調(diào)整。