詳細(xì)介紹
技術(shù)參數(shù):
掃描模式:接觸,非接觸,等高 ,相位對(duì)比,切向力,磁力,擴(kuò)散電阻
?(Static Force ,Lateral Force ,Dynamic Force Phase Contrast ,MFM / EFM ,Spreading Resistance ,Force Modulation
Multiple Spectroscopy modes Lithography and Manipulation modes )
?
曲線:力-距離,力-電壓,幅度-距離,相位-距離,電流-電壓,電流-距離
力操縱:靜態(tài)力模式:(multi-pass Lithography with re-imaging)
動(dòng)態(tài):(multi-pass Lithography with re-imaging)
樣品尺寸:無樣品臺(tái):沒有限制。有樣品臺(tái):100mm
可放置玻璃皿大?。?nbsp;9 mm (6 mm)
自動(dòng)逼近距離不: 1.1 mm
zui大掃描范圍:100 μm
Z方向zui大掃描范圍 10 μm
XY-線性誤差:< 0.1%
主要特點(diǎn):
FlexAFM 的操作非常簡(jiǎn)單,連接掃描頭和控制器,通過USB 連接電腦,啟動(dòng)軟件便可以進(jìn)行測(cè)試。
FlexAFM 樣品臺(tái)非常方便的實(shí)現(xiàn)定位和逼近,適用于不同厚度和類型的樣品。液體樣品可以放入玻璃皿中,再放到樣品臺(tái)上。掃描頭上有三個(gè)螺釘支架,可以直接放到樣品上測(cè)試。
AFM針尖固定
AFM針尖和其固定裝置是AFM系統(tǒng)的核心,針尖固定裝置包含針尖位置調(diào)整部件,用于針尖位置的準(zhǔn)確性和重現(xiàn)性,另外也包含了SureAlign™和雙視窗技術(shù)的部件。整個(gè)固定裝置通過磁力固定在AFM的掃描器上,這樣方便清洗和針尖更換。
FlexAFM的操作非常簡(jiǎn)單,連接掃描頭和控制器,通過USB連接電腦,啟動(dòng)軟件便可以進(jìn)行測(cè)試。
FlexAFM樣品臺(tái)非常方便的實(shí)現(xiàn)定位和逼近,適用于不同厚度和類型的樣品。液體樣品可以放入玻璃皿中,再放到樣品臺(tái)上。掃描頭上有三個(gè)螺釘支架,可以直接放到樣品上測(cè)試。
FlexAFM使用"Liquid Ready" easyScan 2控制器,可以擴(kuò)展STM等技術(shù)。
主要特點(diǎn):
-真正的靈活的大氣和液體環(huán)境測(cè)試
-平的,線性的快速的掃描技術(shù)
-SureAlign™技術(shù),無需激光調(diào)整
-雙視窗技術(shù)
應(yīng)用舉例:
基于靈活彎曲(Flexure)結(jié)構(gòu)的掃描頭技術(shù)
靈活彎曲結(jié)構(gòu)的掃描頭設(shè)計(jì),可以引用于平的或粗糙的樣品表面。XY-掃描通過電磁驅(qū)動(dòng),XY平面的運(yùn)動(dòng)是*線性的。Z方向的運(yùn)動(dòng)是通過壓電陶瓷來驅(qū)動(dòng),Z方向的運(yùn)動(dòng)速度很快.
SureAlign™激光光學(xué)系統(tǒng)
激光光束進(jìn)入液體時(shí)會(huì)發(fā)生一定偏移,通常實(shí)驗(yàn)時(shí)需要耐心和復(fù)雜的調(diào)整。而FlexAFM使用了SureAlign™的激光光學(xué)系統(tǒng),無論是在大氣下還是在液體中根本不需要做任何調(diào)整。所以FlexAFM的激光信號(hào)永遠(yuǎn)處于*狀態(tài)。
上方和側(cè)方視窗
兩個(gè)方向的視窗,非常方便觀察和針尖逼近。并且由于特別的設(shè)計(jì),使得無論在大氣環(huán)境還是液體環(huán)境得到同樣質(zhì)量的視像。