PI E-712+C-877.521+F-712.HA1 高精度單面光纖對準(zhǔn)系統(tǒng)
E-712 數(shù)字壓電控制器:模塊化控制器,最多可支持 6 個(gè)軸,實(shí)現(xiàn)最高精度
高達(dá) 50 kHz 的伺服更新速率
高度穩(wěn)定的 20 位 D/A 轉(zhuǎn)換器
實(shí)時(shí)操作系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)出色的軌跡控制
從 Stage ID 芯片自動加載校準(zhǔn)數(shù)據(jù),以實(shí)現(xiàn)控制器和機(jī)械裝置的互換性
靈活的接口:TCP/IP、USB、RS-232;可選的寬帶模擬輸入和輸出
廣泛的軟件包
E-711.IA4:模擬接口模塊,4個(gè)輸入和輸出
E-711.SA3:增量傳感器模塊
E-711.AL41:大功率放大模塊,4通道,8瓦,-30 V至+135 V
C-887.52x 六足位移臺運(yùn)動控制器:用于控制 6 軸并聯(lián)運(yùn)動裝置的緊湊型臺式設(shè)備
使用矢量算法的復(fù)雜控制器
在笛卡爾坐標(biāo)中指揮
通過命令輕松自定義坐標(biāo)系
F-712.HA1:帶有H-811六腳架和 NanoCube®納米定位器的單面光子對準(zhǔn)系統(tǒng),帶有4個(gè)模擬輸入的E-712數(shù)字控制器,C-887Hexapod運(yùn)動控制器,2個(gè)模擬輸入,固件例程,快速對準(zhǔn)功能,軟件包。
用于 SiPh 晶圓、光子器件、PIC 和光纖的集成掃描/對準(zhǔn)程序
強(qiáng)大的陣列對齊算法
跨多個(gè)設(shè)備、I/O 和自由度 (DoF) 快速、同步優(yōu)化
為快速工藝開發(fā)提供廣泛而深入的軟件支持,包括在 Windows 和 Linux 上支持 C#、Python、LabVIEW 和 MATLAB 等流行語言
自動對準(zhǔn)時(shí)間通常< 0.5 秒