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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
韓國LINE TECH M30系列氣體質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于:真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過程控制器、大學(xué)實驗室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設(shè)備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。
韓國LINE TECH M30系列氣體質(zhì)量流量控制器主要參數(shù)：
流量范圍： 0.005-125（slpm）
響應(yīng)時間： ≤2
精 度： ≤1%
重 復(fù) 性： ±0.25
輸出信號： 0-5vdc或4-20mA
供電電壓： 15-28vdc
溫度范圍： 0-50℃
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