皮拉尼電阻真空計(jì) 智能電阻真空計(jì) 電阻真空計(jì) 型號(hào)：HAD-ZK

皮拉尼電阻真空計(jì)是一種低真空測(cè)量儀器。該儀器由定溫式電阻真空計(jì)組成，用于測(cè)量低真空。其使用范圍在1.0×10⁵  ~    1.0×10^-1Pa。

儀器采用真空規(guī)管作為傳感器。穩(wěn)定性好，不易損壞。

儀器采用微處理機(jī)完成測(cè)量數(shù)據(jù)的采集和處理。具有自動(dòng)非線性參數(shù)修正和誤差補(bǔ)償功能，并采用了光電隔離、數(shù)字濾波、防高電壓沖擊等技術(shù)，提高了測(cè)量精度及抗干擾能力，特別對(duì)于電子束、離子束以及弧放電等強(qiáng)干擾源都有非凡的抗干擾能力。  

每臺(tái)真空計(jì)均設(shè)置有兩組繼電器輸出接口，用來實(shí)現(xiàn)真空度定值點(diǎn)和區(qū)域的控制。定值點(diǎn)及區(qū)域可方便自由設(shè)定。本儀器通過觸摸開關(guān)輸入的預(yù)置參數(shù)掉電后可保存，該儀器控制面板更人性化，操作更方便，開電源即可工作。本機(jī)線路設(shè)計(jì)合理，制作工藝考究，采用了整板設(shè)計(jì)，波峰焊接。

一． 主要技術(shù)指標(biāo)  

1.    測(cè)量與控制范圍：1.0×10⁵~1.0×10^-1Pa  

2.    測(cè)量誤差：（P-P0）/P0≤±15%  （2.0×10³Pa~1.0×10⁰Pa）  

3.    配用規(guī)管：連接管外徑15±0.5mm或法蘭盤接口

4.    采樣時(shí)間：1S

5.    模擬輸出信號(hào)：0~5V（可選）

6.    控制繼電器觸點(diǎn)容量：2A  /  AC220V

7.    供電：AC50Hz   220V±10% / 15W

8.    使用環(huán)境：溫度-5~40℃   濕度≤90%

9.    面板尺寸：116×96mm

10. 機(jī)箱尺寸：91（寬）×118深）×91（高）

二． 使用方法

1、開機(jī)準(zhǔn)備

       將電源開關(guān)置于“關(guān)"的位置，用規(guī)管電纜將電阻規(guī)與本機(jī)對(duì)應(yīng)連接好，用電源線將電源插座和本機(jī)電源座連接。繼電器開關(guān)量信號(hào)輸出座與被控制的執(zhí)行設(shè)備用電纜線對(duì)應(yīng)接好，儀器背板上的“J1"、“J2"兩個(gè)繼電器輸出座各有一組開觸點(diǎn)和常閉觸點(diǎn)，供用戶自行選擇使用。  

2、開機(jī)

       接通電源，儀器顯示“P"約3秒（預(yù)熱）后進(jìn)入測(cè)量狀態(tài)。

       儀器采用以10（用E表示）為底的指數(shù)，表示單位為Pa的氣體壓力值（真空度）。“E"前兩位為系數(shù)，后兩位是正負(fù)指數(shù)。

3、電阻真空計(jì)的零點(diǎn)和滿度調(diào)校：

     請(qǐng)一定按照以下先調(diào)零點(diǎn)，后調(diào)滿度的秩序進(jìn)行。

a.調(diào)零點(diǎn)

當(dāng)確定真空系統(tǒng)的真空度在1.0×10^-1Pa以上時(shí)，工作5分鐘后，按儀器面板（▲）（▼）   （（▲）增加數(shù)值，（▼）減少數(shù)值）使儀器顯示“1.0E-1"（1.0×10^-1Pa），零點(diǎn)調(diào)校工作即告完成。

b.調(diào)滿度

       完成了調(diào)零點(diǎn)的工作，將被測(cè)系統(tǒng)放大氣后，讓儀器工作5分鐘，按下（ATM）鍵，并保持，顯示值由原數(shù)值變?yōu)椤?.0E5"（1.0×10⁵Pa），松開按鍵，此時(shí)滿度調(diào)校完成。

       一旦調(diào)節(jié)好零點(diǎn)和滿度，以后就不必再調(diào)，只有更換規(guī)管時(shí)才需要調(diào)節(jié)。在調(diào)完零點(diǎn)將系統(tǒng)放大氣后，即使儀器已經(jīng)顯示“1.0E5"（1.0×10⁵Pa）,仍然需要執(zhí)行調(diào)滿度的步驟。

注意：本機(jī)在出廠前已經(jīng)調(diào)好零點(diǎn)，不需調(diào)試  ，由于各地氣壓不同只要調(diào)一下滿度即可，也可以不調(diào)。注意規(guī)管號(hào)與相應(yīng)儀器配合使用即可。  

4、控制點(diǎn)和控制區(qū)域設(shè)置

      真空度用氣體的壓力值表示，本機(jī)使用的壓力單位是帕(Pa)，真空度越高，壓力值越低。區(qū)域指真空的區(qū)域，上限指區(qū)域真空度的一端（也就是氣壓值小的一端），下限指區(qū)域真空度低的一端（也就是氣壓值大的一端）。  

      打開本機(jī)電源，在窗口顯示“P"的3秒內(nèi)，按一下面板上的“功能（Fun）鍵，進(jìn)入設(shè)置狀態(tài)，窗口顯示第1路控制的真空區(qū)域上限符號(hào)“1_"，再按一下（Fun）鍵，顯示過去設(shè)置的真空度上限壓力值，其系數(shù)的整數(shù)位閃爍，按（SET）鍵，在“0~9"中間選定要置入的上限壓力值系數(shù)的整數(shù)位，再按（Fun）鍵，使系數(shù)的小數(shù)位閃爍，再按（Set）鍵選定小數(shù)位，同樣的方法可設(shè)定壓力值指數(shù)的正負(fù)號(hào)和數(shù)字位。  

設(shè)置完控制區(qū)域上限的壓力值，再按（Fun）鍵，顯示第1路控制的區(qū)域下限符號(hào)：“1^-"，用與設(shè)置上限壓力值相同的方法，可以設(shè)定下限的壓力值。

設(shè)置完成第1路控制的真空度區(qū)域上、下限壓力值后，再按“功能（Fun）鍵，顯示第2路控制區(qū)域的上限符號(hào)：“2-"，與設(shè)置第1路控制區(qū)域上、下限壓力值的方法相同，可設(shè)定完第2路控制的區(qū)域上、下限壓力值。  

如果需要設(shè)置控制點(diǎn)，只需將該路控制的區(qū)域上下限壓力值均設(shè)為所需控制點(diǎn)的壓力值。

注意設(shè)置工作完成后，一定要關(guān)機(jī)保存所置入的數(shù)據(jù)，直到下一次修改。如果不關(guān)機(jī)，儀器不會(huì)從設(shè)置狀態(tài)自動(dòng)返回測(cè)量狀態(tài)。

5、控制繼電器的工作方式

 各路控制繼電器的工作方式是：當(dāng)被測(cè)系統(tǒng)的真空度上升至該路控制區(qū)域上繼電器吸合，當(dāng)被測(cè)系統(tǒng)的真空度下降至該路控制區(qū)域下繼電器釋放。對(duì)應(yīng)儀器輸出的兩路繼電器控制，在面板上有J1、J2、兩個(gè)指示燈，其工作狀態(tài)是：當(dāng)某路繼電器動(dòng)作時(shí)，對(duì)應(yīng)的指示燈亮，復(fù)位時(shí)，指示燈滅。  

例：

使用本機(jī)輸出的第1路繼電器控制，對(duì)如圖所示的真空度范圍設(shè)置區(qū)域控制，當(dāng)系統(tǒng)真空度上升達(dá)到5Pa時(shí)，第1路控制繼電器吸合，然后在系統(tǒng)真空度下降到8Pa時(shí)，繼電器釋放。  

下限符號(hào)“1^-"                                 上限符號(hào)“1-"

8Pa                                                      5Pa

    交替使用“功能（狀態(tài)）"鍵和“置數(shù)"鍵，在第1路控制的真空度上限符號(hào)“1-"處置入“5.0E0"(5Pa),在第1路控制的下限符號(hào)1^-"處置入“8.0E0"（8Pa）。關(guān)電源重新啟動(dòng)，設(shè)置完成。

7、接線說明

8、0-10伏模擬輸出說明   4-20毫安模擬輸出說明

接線DB9針  2----模擬電壓輸出0-5V(-)   8--模擬電壓輸出0-5v(+)

             1--模擬電流輸出（-）     7--模擬電流輸出（+）

本模擬輸出是分段線性關(guān)系具體見下表。本模擬輸出為0-5伏，如果需要模擬輸出為0--10V。請(qǐng)將電壓乘以2即可。