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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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聯(lián)系電話
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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溫度均勻度≤1%，處理的zui大尺寸可以達(dá)到300mm，zui大厚度可以支持到11mm，zui高溫度可以達(dá)到1200攝氏度，處理過程可以在真空環(huán)境或者惰性氣體的環(huán)境中執(zhí)行，做多可支持4路進(jìn)氣，可以用到的氣體包含N2，O2，N2H2，Ar和H2。
基于PID處理控制器的Eurotherm可以存儲20套程序，每套程序可以支持高達(dá)100個步驟的設(shè)定，帶USB2.0的接口。
包含UniSoft 軟件，與微軟Windows操作系統(tǒng)兼容。通過該軟件，通過鏈接電腦可以非常方便地實現(xiàn)程序編輯以及數(shù)據(jù)記錄。
技術(shù)參數(shù)：
1）RTP-100/RTP-100-HV
基片從前面載入/取出；
zui大可支持的尺寸：直徑為100mm的Wafer或者100mm×100mm的基片；
zui高溫度高達(dá)1200攝氏度；
升溫速率為150K/sec；
降溫速率分段控制：從1200℃到400℃，降溫速率優(yōu)于200K/sec。
從400℃到100℃zui大降溫速率控制在30K/sec；
